LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체
다채널 냉각기
온도 범위 -45℃~90℃, 정밀 ±0.1℃, 독립 제어
하나의 장치로 여러 공정 냉각. 신뢰할 수 있고, 컴팩트하며 에너지 절약형.
하나의 장치로 여러 공정 냉각. 신뢰할 수 있고, 컴팩트하며 에너지 절약형.
FLTZ 다채널 냉각기는 각 채널별 독립 온도 제어가 가능합니다. 필요에 따라 각 채널의 동일하거나 다른 온도 범위, 열전달 매체 유량 등을 설정할 수 있습니다.
채널은 서로 영향을 주지 않습니다. 하나의 채널이 고장 나더라도 다른 채널의 작동에는 영향을 미치지 않습니다.
FLTZ 다채널 냉각기 라인업에는 표준 이중 채널 및 삼중 채널 모델이 포함되어 있습니다. 특수한 용도의 경우 채널 수, 제어 매개변수 및 장비 크기를 포함한 맞춤 솔루션을 제공합니다.
다채널 냉각기의 특징
1. 독립 온도 제어
FLTZ 가변 주파수 다채널 냉각기는 각 채널별 독립 온도 제어 기능을 갖추고 있습니다. 서로 다른 채널은 서로 다른 온도 범위, 냉·온 난방 용량 및 열매체 유량으로 설계할 수 있습니다. 요구되는 온도 범위에 따라 증기 압축 냉각 또는 ETCU 무컴프레서 열교환 시스템을 선택할 수 있습니다.
2. 중앙 제어
FLTZ 가변 주파수 멀티채널 칠러는 하나의 호스트로 여러 유체 채널 시스템을 제어할 수 있습니다. 하나의 시스템을 통해 여러 채널을 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 중앙 집중식 제어는 운영 효율을 향상시킬 뿐만 아니라 고장 진단과 운영 절차도 최적화합니다.
3. 공간 절약 및 배선 감소
각 채널은 팽창 탱크, 콘덴서, 냉각수 시스템 등을 사용할 수 있어 배선 수와 장비 크기를 효과적으로 줄여주며, 멀티채널 칠러를 더욱 컴팩트하게 하고 설치 면적도 줄여줍니다.
4. 정확하고 안정적인 온도 제어
FLTZ 가변 주파수 멀티채널 칠러는 ±0.1℃까지의 온도 제어 정확도를 제공합니다. 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘과 히스테리시스 예측기를 채택하며, 가변 주파수 팬, 전자 팽창 밸브, 가변 주파수 압축기를 동시에 제어하여 열 부하가 변동할 때도 온도 제어의 안정성을 보장합니다.
5. 가변 주파수로 에너지 절약
FLTZ 가변 주파수 멀티채널 칠러는 가변 주파수 압축기, 팬, 펌프가 장착되어 있어 장비 부하에 따라 압축기, 팬, 펌프의 모터 속도를 각각 제어할 수 있습니다.
6. 압축기 가열
온도가 40℃ 미만일 때, 멀티채널 칠러는 팽창 밸브를 통해 뜨거운 배기 가스를 순환시킬 수 있으며, 순환 유체를 히터 없이 가열할 수 있습니다.
7. 펌프 유지보수 비용 절감
칠러는 기계적 씰이 없는 마그네틱 드라이브 펌프를 채택하여 샤프트 씰 누수 문제가 없으므로 펌프 누수를 정기적으로 점검하거나 기계적 씰을 교체할 필요가 없으며, 이는 펌프 운전 비용을 크게 줄여줍니다.
8. 통신 기능
Протоколы связи многоканального процессного чиллера включают интерфейс RS485 с протоколом Modbus RTU и интерфейс Ethernet с протоколом TCP/IP.
9. 사용자 친화적인 터치 스크린 디스플레이
이 멀티채널 순환 칠러는 맞춤형 컬러 터치 스크린을 사용하여 장비의 동작 상태를 실시간으로 표시할 뿐만 아니라 장비 운전 중 이상 상태도 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 작동 인터페이스는 간단하고 이해하기 쉬우며, 설정은 간단한 제스처와 슬라이딩 동작으로 완료할 수 있습니다.
10. 글로벌 공급 네트워크
LNEYA는 전 세계에 종합적인 네트워크 시장을 보유하고 있으며, 자사의 칠러는 전 세계 30개 이상의 국가와 지역에 수출됩니다. 미국, 캐나다, 호주, 러시아, 한국 등 여러 국가에 대리점을 보유하고 있습니다. 따라서 전 세계적으로 자사 칠러와 고품질 서비스를 제공할 수 있습니다.
멀티채널 칠러 적용 분야
FLTZ 다채널 냉각기는 정확한 온도 제어, 독립적인 회로 관리 및 빠른 냉각과 같은 장점으로 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 반도체 냉각기의 응용 시나리오는 웨이퍼 제조, 포장 테스트, 포토리소그래피, 에칭, CVD/PVD 증착, 세척 공정 등이 포함됩니다.
• 포토리소그래피
포토리소그래피 기계의 노출 시스템, 광학 렌즈, 레이저 광원 및 마스크 판은 패턴 정확도를 보장하기 위해 정밀한 온도 제어가 필요합니다.
• 식각
플라즈마 에칭(RIE, ICP 등) 동안 챔버와 전극은 에칭의 균일성을 보장하기 위해 엄격하게 온도 제어되어야 합니다. 냉각기는 에칭 장비에 안정적인 온도 환경을 제공하고 공정 편차를 줄일 수 있습니다.
• 화학적 기상 증착(CVD) / 물리적 기상 증착(PVD)
CVD(예: LPCVD, PECVD)와 PVD(예: 스퍼터링 코팅)는 박막 증착에 사용되며, 챔버와 기판의 온도 제어는 필름의 품질에 영향을 미칩니다.
• 이온 주입
이온 주입 중에 생성되는 고에너지 입자 빔은 국부적으로 높은 온도를 초래할 수 있습니다. 프로세스 냉각기는 열 손상을 방지하기 위해 빠르게 열을 제거할 수 있습니다.
• 어닐링
어닐링 과정 동안 칠러는 도핑된 원자의 활성화 효율을 최적화하기 위해 냉각 속도를 동적으로 조절해야 합니다.
• 습식 세척
포토레지스트 잔여물, 금속 오염 및 입자 물질을 제거하기 위해 특정 온도 범위 내에서 탈이온수를 유지하는 데 사용됩니다.
• 칩 포장
BGA, CSP, FCBGA 등 패키징 과정에서 용접 및 포장 재료의 온도 제어는 신뢰성에 영향을 미칩니다.
하나의 장치로 여러 공정 냉각. 신뢰할 수 있고, 컴팩트하며 에너지 절약형. Specification
| 모델 | FLTZ-203W-2T | |
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 |
| 온도 범위 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 냉각 용량 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | |
| 가열 용량 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 열 전도성 매체 유량 | 2kW | 2kW |
| 열전달 매체 연결 크기 | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 열전달 인터페이스 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 온도 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 유량 | 20L/min | 20L/min |
| 무게 | 400kg | |
| 치수(cm) | 50*90*160 | |
| 모델 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 |
| 온도 범위 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 냉각 용량 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | |
| 가열 용량 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| 열 전도성 매체 유량 | 2kW | 6kW |
| 열전달 매체 연결 크기 | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 열전달 인터페이스 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 온도 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 유량 | 40L/min | 20L/min |
| 무게 | 550kg | |
| 치수(cm) | 60*100*185 | |
| 모델 | FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템 | |||
| 온도 범위 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | |||||
| 열 전도성 매체 유량 | 최대 15~45L/min 6bar | |||||
| 가열 용량 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 냉각 용량 | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| 내부 순환 체액 용량 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 냉각수 인터페이스 | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 모델 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
| 온도 범위 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 온도 안정성 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||
| 냉각 용량 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 가열 용량 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 열 전도성 매체 유량 | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 열전달 매체 연결 크기 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 유량 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 회로 차단기 | 100A | ||
| 무게 | 600kg | ||
| 치수(cm) | 60*100*170 | ||
| 모델 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
| 온도 범위 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 온도 안정성 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||
| 냉각 용량 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 가열 용량 | 2kW | 6kW | 펌프 열 손실 |
| 열 전도성 매체 유량 | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| 열전달 매체 연결 크기 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 유량 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 회로 차단기 | 75A | ||
| 무게 | 600kg | ||
| 치수(cm) | 60*100*170 | ||
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왜 선택해야 하나요 LNEYA?
LNEYA는 2010년 중국 우시에서 설립되었습니다. 현재 공장 면적은 25,000㎡입니다
с ежегодным выпуском 5 000 единиц и объемом производства более 300 миллионов на протяжении двух последовательных лет.
설립 이래 LNEYA는 반도체, 제약 화학, 신재생 에너지, 항공우주 등 산업을 위한 고온·저온, 극저온 및 정밀 온도 제어 서비스를 제공하는 데 집중해 왔습니다.
전 세계적으로 30,000명 이상의 고객에게 서비스를 제공했으며 130개 이상의 특허를 보유하고 있습니다.
우리의 칠러는 전 세계 100개 이상의 대학 실험실 프로젝트에서 선택되었으며 20개 이상의 국가로 수출되었습니다. 유럽의 여러 국가와 지역에 대리점을 보유하고 있습니다.
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