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펠티어 칠러

TEC -20℃~90℃

온도 정밀도 ±0.1℃

웨이퍼 식각 공정을 위한 신뢰성과 정밀한 온도 제어를 제공합니다

문의 사항을 보내주세요.
<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 1）
이슬점 온도

≤30℃


전원 공급 전압

AC208V-DC250V
전원 공급 전압


CDA 활성화 온도

＜30℃



반도체 산업을 위해 맞춤 제작된 LNEYA 펠티어식 열전냉각기 칠러, 온도 범위 -20~90℃;
검증된 펠티어 열전도 원리를 기반으로 펠티어 온도 제어 시스템은 플라즈마 식각 응용에 대해 반복 가능한 온도 제어를 제공하며, 정전 척(ESC)의 동적 온도 제어를 통해 모든 유형의 식각 공정에 적용할 수 있습니다.

TEC SERIES

-20°C

최저

90°C

최고

±0.1°C

온도 제어 정확도


모델 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W
Temp. Range -20℃~90℃ -20℃~90℃ -20℃~90℃
냉각 용량 20℃ 1200w 2450w 4500w
10℃ 900w 1925w 3500w
0℃ 600w 1400w 2600w
 -10℃ 350w 875w 1600w
 -20℃ 80w 350w 700w
난방 전력 ＞3000w ＞6000w ＞12000w
Pump type DC magnetic pump DC magnetic pump DC magnetic pump
Pressure（bar） ≤4 ≤4 ≤4
흐름 15L/min at 2bar 15L/min at 2bar 15L/min at 2bar
Fluid Galden HT135 Galden HT135 Galden HT135
냉각수 온도 DI＜20℃ DI＜20℃ DI＜20℃
Cooling Water Flow ≤12L/min ≤20L/min ≤32L/min
Pressure 0.5-0.8bar 0.5-0.8bar 0.5-0.8bar
흐름 2-3m³/h 2-3m³/h 2-3m³/h

작동 원리

<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 2）

1. 웨이퍼 캐리어(Chuck wafer carrier) 2. 순환 펌프(Circulation pump) 3. 컨트롤러(Controller) 4. 열전 열교환 모듈(Thermoelectric heat exchange module) 5. 전원 모듈(Power module) 6. 냉각수 입구(Cooling water inlet) 7. 냉각수 출구(Cooling water outlet)

이 현장 온도 제어 솔루션은 웨이퍼 배치 간 및 챔버 간 공정 균일성을 크게 향상시킵니다. 작동 원리: 챔버의 리플로우 웨이브 본체 온도를 실시간으로 모니터링하여 공정 중 열 부하 변화에 대응하여 공급 온도를 동적으로 조정합니다. *현장 온도 제어 시스템 *빠른 램프 속도로 챔버 처리량 크게 향상 *컴프레서 없는 사용 지점 시스템으로 에너지 소비 약 50% 절감

PELTIER CHILLER FEATURES

이 장치는 냉매 없이 완전히 작동하며 유지보수가 거의 필요하지 않습니다.
Improve the stability of Wafer-Wafer
Modular components make maintenance more convenient; use of perfluorinated liquid.
When heating and direct cooling, the hot and cold parts are not in direct contact with the thermal fluid;
온도 드리프트 방지 기능은 식각 프로파일을 보다 안정적으로 만듭니다;
높은 신뢰성 및 낮은 사용 비용; 작은 산업 공간 점유; 매우 적은 열유체 충전량;
낮은 에너지 소비, 컴프레서 및 냉매 시스템 없음, 부하가 있을 때만 출력되어 에너지 소비를 크게 줄입니다.

모든 반도체 냉각기 모델

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FLTZ 5℃~90℃
공정 냉각기

Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃

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<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 4）

FLTZ -25℃～90℃
열 칠러

냉각 용량 2kW~15kW
냉각수 유량 1.2m³/h~10.2m³/h
온도 정확도 ±0.05℃

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FLTZ -45℃～90℃
저온 칠러

냉각 용량 1kW~8kW
냉각수 유량 1.5m³/h~8m³/h
온도 정확도 ±0.05℃

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<trp-post-container data-trp-post-id='14885'>Peltier Chiller</trp-post-container>（images 6）

FLTZ -80℃～+90℃
재순환 냉각수 냉각기

냉각 용량 0.6kW~3kW
냉각수 유량 1.8m³/h~6m³/h
온도 정확도 ±0.05℃

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FLTZ -100℃～+90℃
재순환 냉각기

냉각 용량 1.5kW~3kW
냉각수 유량 50L/min~100L/min 2bar~7bar
온도 정확도 ±0.05℃

자세히 보기

우리 펠티어 칠러 공장을 믿으셔도 됩니다

저희는 자체 공장을 보유하고 있으며 온도 제어 분야에서 20년 이상의 경험을 가진 매우 강력한 칠러 공급업체입니다

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hi,are you looking for ultra low freezer?

30,000명 이상의 고객에게 서비스 제공.
20개국 이상으로 수출.

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Certification patents

CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.

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애프터 서비스

종합 기술 교육 제공.
24/7 솔루션 제공.

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Professional team

2010년에 설립, 업계 경력 15년.
직원의 20%가 기술자입니다.

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품질 관리

시각적 검사.
성능 테스트.
전기 안전 테스트.

자주 묻는 질문

펠티어 칠러는 빠르고 정밀한 온도 제어가 가능하여 모든 까다로운 공정 요구사항을 충족할 수 있습니다

There are 3 models of Peltier chillers in our LNEYA TEC series, all of which are water-cooled.

Yes. We accept customization. Deionized water is used as cooling water, and the water temperature is less than 20℃

As an external energy-saving temperature control unit in the semiconductor testing industry. Thermoelectric cooler TEC consists of a Peltier module, a radiator, a water cooling head, a water pump, a water tank and a power supply.

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WeChat/전화

86 18914253067

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WhatsApp

+86 18914253067

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이메일 주소

market@lneya.com