LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체
자주 묻는 질문
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Single channel chillers
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ single channel chiller easily achieves independent and precise temperature control for multiple fluid channels, with a temperature control accuracy of up to ±0.1℃, widely applied in the semiconductor industry.
fltz series
-45°C
최저
90°C
최고
±0.1℃
온도 제어 정확도
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| 모델 | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 온도 범위 | 5℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||||||
| 냉각 용량 @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A/R448A | ||||||
| 냉각 매체 | 실리콘 오일, 플루오르화 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 온도는 10℃ 이상으로 제어해야 함) | ||||||
| 냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 치수(cm) | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| 모델 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 온도 범위 | -25℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||||||
| 흐름 최대 | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A/R448A | ||||||
| 냉각 매체 | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| 냉각수 유량 @20℃ | 1.2m³/H | 1.6m³/H | 2.6m³/H | 3.6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10.2m³/H |
| 치수(cm) | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| 모델 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 온도 범위 | -45℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||||||
| 흐름 최대 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| 가열 | Uses compressor heat to prevent condenser frost. | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A/R448A | ||||||
| 냉각 매체 | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| 냉각수 유량 @20℃ | 1.5m³/H | 2.4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| 치수(cm) | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
| 모델 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 온도 범위 | -80℃～+90℃ | ||||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | ||||
| 흐름 최대 | 7～25L/min 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| Cooling capacity @-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 가열 용량 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Хладагент | Fluorinated fluids | ||||
| 냉각수 유량 @20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Circuit Breakers | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 모델 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 온도 범위 | -100℃～+90℃ | |
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃（온도 제어 정확도 ±0.01℃ 맞춤 설정 가능） | |
| 흐름 제어 | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 가열 용량 | 3.5kW | 5.5kW |
| 내부 순환 유체량 | 5L | 8L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 15L |
| Теплопроводящая среда | 불소화 액체 | |
| 20℃에서 냉각수 | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
|
모델 |
FLTZ-001S |
FLTZ-002S |
FLTZ-003S |
FLTZ-004S |
FLTZ-006S |
FLTZ-008WS |
FLTZ-010WS |
|
온도 범위 |
15℃～25℃ |
||||||
|
온도 제어 정확도 |
±0.005℃ Temperature control accuracy at the equipment outlet |
||||||
|
Flow Rate |
7L/min 3bar |
15L/min at 4bar |
30L/min at 4bar |
75L/min at 4bar |
|||
|
난방 전력 |
Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting |
||||||
|
냉각 용량 @20℃ |
3kw |
7kw |
10.5kw |
14 kw |
21kw |
28kw |
35kw |
|
Liquid Storage Capacity |
8L |
15L |
20L |
30L |
50L |
60L |
80L |
|
Хладагент |
R1234fa （ODP=0 GWP=4）/R448A |
||||||
|
Secondary Refrigerant(Coolant) |
Purified Water |
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Single-channel chillers are primarily used for precise temperature control in semiconductor production and testing. The company utilizes multiple algorithms (PID, feedforward PID, and model-free self-building tree algorithms) to achieve fast response and high control accuracy.
Under load, the system offers high temperature control accuracy, allowing for flexible switching between -100°C and +90°C with excellent temperature compliance. Advanced low-temperature refrigeration technology supports ultra-low temperature control from -100°C to -80°C.
Single Channel Chiller Applications
노화 시험 장비용
매칭 열 건조 시스템은 냉각 및 가열 온도를 제공하고, 웨이퍼 칩의 테스트 효율성과 품질을 향상시키며, 온도 정확도 오류가 작습니다.
칩 테스트 장비용
The thermal chiller is matched with the test machine, with a temperature control accuracy of ±0.05℃, which improves the chip testing efficiency of the institute.
반도체 제조용
공정 냉각기는 반도체 제조 공장에서 사용되며, 고정밀 냉각 및 가열 온도 제어를 통해 웨이퍼 제조 속도를 향상시키고 폐기물 발생률을 줄입니다.
Why Choose LNEYA® ?
반도체 산업은 온도 제어 정확도에 대해 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 많은 공정 단계가 온도 변화에 극도로 민감합니다. 제품의 성능과 품질은 고정밀 반도체 칠러에 달려 있습니다. LNEYA는 반도체 산업을 위한 전문적인 열 관리 솔루션을 제공합니다.
매우 넓은 온도 범위로 액체 매체를 교체할 필요가 없습니다;
효율적인 생산 안정성 및 반복성 결과;
High temperature cooling technology, directly start the compressor to cool down at 300 ℃.
완전 밀폐형 시스템으로 열 전도성 액체의 수명을 연장합니다;
판형 열교환기와 파이프라인 히터를 사용하여 냉각 및 난방 속도를 개선합니다;
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