반도체 칠러

반도체 온도 조절 장치인 Chiller는 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 조절을 위해 주로 사용됩니다.

제품으로는 유체불화액 온도제어(최저 -100℃), 가스냉각 및 가열의 급속온도변화, 급속온도변화척, 저온가스냉동기(-120℃), 직접냉각냉동장치(-150℃) 등이 있다. ° C) 등 다양한 알고리즘(PID, Feedforward PID, Model Free Self Building Tree Algorithm)을 시스템에 적용하여 빠른 응답성과 높은 제어 정확도를 구현합니다.