MD -75℃~225℃

써멀 척 또는 써멀 플레이트/써멀 컨트롤 유닛

동적 온도 제어 시스템 반도체 테스트 냉각기

온도 정확도± 0.1 ℃
난방 전력-60°C ~ +25°C: 2분 0°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ +220°C: 6분
냉각 전력220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분
전원2.8KW
편평한 모양원형 / 사각

MD 반도체 칠러 써멀 척 열판

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구성 세부 정보

모델	MD-708	MD-712	MDL-708
온도. 범위	-75 ℃ ~ 225 ℃	-75 ℃ ~ 225 ℃	-75 ℃ ~ 225 ℃
온도 제어 정확도	± 0.1 ℃	± 0.1 ℃	± 0.1 ℃
온도 균일성	± 1 ℃	± 1 ℃	± 1 ℃
평탄	± 50um	± 50um	± 50um
정제 크기	직경 200mm 디스크	직경 300mm 디스크	150mm * 200mm
호스트 및 카드 케이블	2.5m(다른 길이는 사용자 정의 가능)
평면 처리	전기도금된 니켈(선택적 금도금)
달궈	-60°C ~ +25°C: 2분 0°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ +220°C: 6분
진정	220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분
제어 시스템	PLC 컨트롤러, 가열 피드 포워드 PID 퍼지 알고리즘, 냉각 전자식 팽창 밸브 PID 조정 제어 냉각 용량
표시 및 기록	7인치 컬러 터치 스크린, 온도 곡선 기록
의사 소통	이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜
냉동 압축기	타이캉
전원 공급 장치	220V 50/60HZ 2.8KW	220V 50/60HZ 4.5KW	220V 50/60HZ 2.8KW
호스트 크기 mm	550 650 × × 370	550 650 × × 370	550 650 × × 370

제품 설명

열 테스트에서 MD의 가장 큰 혁신은 반도체 웨이퍼의 성능 테스트, 모델링, 프로세스 개발, 설계 결함 또는 IC 오류 분석에 주로 사용되는 일련의 열 제어 척입니다. 그것은 급격한 온도 변화를 실현하고 온도를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 시스템 자체에는 액체 질소, 이산화탄소 등의 소비를 방지하는 자체 냉장고가 있으며 각 시스템에는 척과 냉온 제어 장치가 포함되어 있습니다.

판 내부는 냉매의 직접 증발 방식을 채택하여 액체 냉각 방식에 비해 열교환 효율과 판 단위 면적당 열교환 전력을 크게 향상시킵니다.

특징:
최대 25°C/분의 빠른 냉각/가열 속도
액체 질소, 이산화탄소 등의 소비를 피하기 위한 냉장고 내장 프로그래밍 가능한 자동화, 온도 안정성 +/-0.1
컨트롤러는 터치 스크린과 원격 인터페이스를 제공하여 장비 온도를 정밀하게 제어하고 모니터링합니다.
테스트 상태 표시 – 실시간 데이터

Thermal Chuck MD 시리즈는 개방형 평면 작업 플랫폼, 빠른 온도 상승 및 하강, 일정한 온도 제어를 제공하여 RF 장치 및 고밀도 전력 장치(IGBTSAND MOSFETS)를 테스트하는 데 사용할 수 있으며 급속 냉각에도 사용할 수 있습니다. 실험실 평판(플라즈마, 생물학적 제품, 배터리) 등

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