LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체
모든 반도체 냉각기 모델
펠티에 칠러
TEC -20℃~90℃
온도 정확도 ±0.1℃
Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process
이슬점 온도
≤30℃
≤30℃
Power supply voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
CDA activation temperature
＜30℃
＜30℃
LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.
TEC SERIES
-20°C
최저
90°C
최고
±0.1°C
온도 제어 정확도
| 모델 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Range | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| 냉각 용량 | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| 난방 전력 | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| 흐름 | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| 냉각수 온도 | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| 흐름 | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Dynamic temperature control principle
1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet
This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
신뢰할 수 있는 이동식 냉각기 공장
당사는 자체 공장과 온도 제어 분야에서 20년 이상의 경험을 보유한 매우 강력한 냉각기 공급업체입니다.
글로벌 서비스
30,000명 이상의 고객에게 서비스를 제공했습니다.
20개국 이상에 수출되었습니다.
인증 특허
CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.
판매 후 서비스
포괄적인 기술 교육을 제공합니다.
연중무휴 솔루션으로.
전문 팀
2010년에 설립되어 15년의 업계 경력을 보유하고 있습니다.
20%의 직원이 기술자입니다.
품질 관리
육안 검사.
성능 테스트.
전기 안전 테스트.
자주 묻는 질문
Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements
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