모든 반도체 냉각기 모델
네거티브/저압 반도체 냉각기
ZLFQ-80 25℃/35℃
온도 정확도 ±0.1℃
음압 환경에서의 냉각 및 온도 제어로 다양한 유형의 보드 냉각에 적합합니다.

전체 치수
1300mm(L)*700mm(W)
*1850mm(H)
1300mm(L)*700mm(W)
*1850mm(H)
전원 공급 장치
AC220V/50HZ,
8A(최대)
AC220V/50HZ,
8A(최대)
통신 프로토콜
RS485 직렬 포트 MODBUS RTU 프로토콜/이더넷 인터페이스 TCP/IP Protocol
RS485 직렬 포트 MODBUS RTU 프로토콜/이더넷 인터페이스 TCP/IP Protocol
원칙:
음압 발생기를 통해 열 전달 매체(물/오일) 순환을 구동하여 누출 위험을 방지하고 다양한 유형의 기판을 냉각하는 데 적합합니다.
ZLFQ 시리즈
25℃/30°C
공급 및 반환 액체 온도
80KW
정격 열교환 용량
±0.1°C
온도 제어 정확도
모델 | ZLFQ-80 | |
정격 열 교환 용량 |
80KW | |
기본 측면 (중간면) |
작업 매체 | 순수한 물, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등 |
정격 유량 | 300L/분 | |
액체 저장 용량 | 120L | |
공급 및 반환 액체 온도 | 25/35℃ | |
온도 제어 정확도 | ±0.1℃ | |
진공 펌프 공기 추출 용량 | 130m3/h | |
음압 헤드 | 70KPA | |
내부 순환 펌프 구성 | 1+1 중복성 | |
인터페이스 크기 | ZG1-1/4 | |
보조 측면 (냉각 측면) |
냉각 매체 | PCW |
냉각 유량 | 4m3/h | |
필터링 정확도 | 50um | |
인터페이스 크기 | ZG1 | |
제어 시스템 | PLC 컨트롤러, 피드포워드 제어 + 지연 보상 PID 알고리즘 | |
액체 공급 누수율 | 음압 순환 누출 방지 시스템 | |
안전 보호 | 자가 진단 기능, 장비 과부하 보호, 낮은 액체 레벨 보호 등을 갖추고 있습니다. | |
기타 기능 | 자동 누출 감지, 자동 액체 배출, 자동 액체 보충 등의 기능을 제공합니다. |
핵심 기술 및 장점
음압 환경에서 유체 순환을 통한 정밀한 온도 제어
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