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반도체 패키징 및 테스트 프로세스

반도체 패키징 및 테스트 산업에서 제품 연구 및 개발 경험이 풍부하며 풍부한 제품 라인은 업계의 다양한 온도 제어 요구 사항을 충족합니다.
제품에는 다음이 포함됩니다: FLTZ 시리즈 고정밀 칠러 히터, LT 시리즈 냉동 칠러, 열교환 및 온도 제어 장치 ETCU, 직접 냉각기 ZLJ/ZLTZ, 가스 냉각기 AES/LQ/AI/AET/가스 건조기, 챔버 테스트 박스 및 기타 제품.

솔루션

반도체 패키징 및 테스트 공정은 웨이퍼 테스트, 칩 패키징, 패키징 후 테스트 등 반도체 생산 공정의 핵심 연결고리입니다. 이 공정은 높은 정밀도와 신뢰성뿐만 아니라 제품 품질과 성능을 보장하기 위해 엄격한 온도 제어가 필요합니다.
일반적인 패키징 공정은 다이싱, 마운팅, 본딩, 플라스틱 밀봉, 디버링, 전기 도금, 인쇄, 절단 및 성형, 외관 검사, 완제품 테스트, 포장 및 배송으로 이루어집니다.

High Precsion Semiconeductor ChillersFLTZ 시리즈
Vacuum/Thermal Chuck8-inch and 12-inch chucks
열교환 냉각기ETCU 시리즈
직접 냉각 냉각기ZLTZ/ZLJ/KSD series
테스트 챔버
가스 냉각 냉각기AES/LQ/AI/AET/DR 시리즈
Low Pressure ChillerZLFQ series

FLTZ 주파수 변환 시리즈

-온도 제어 정확도 ±0.05℃(출구 온도 정상 상태)

반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어에 주로 사용되는 -90~+100℃. 이 회사는 시스템에 다양한 알고리즘을 적용하여 빠른 시스템 응답과 높은 제어 정확도를 달성합니다.

LTZ Variable 빈도 시리즈

—Adopt frequency conversion technology, high efficiency and energy saving

Adopt frequency conversion technology to achieve high efficiency and energy saving. The variable frequency compressor unit changes the operating speed of the DC compressor at any time according to the user’s cooling and heating load requirements through the built-in frequency conversion device, thereby avoiding the compressor and electric heating full load confrontation, maintaining a stable working state of the unit and achieving energy-saving effects.

— 8-inch and 12-inch vacuum chucks and non-standard customized square cold plates

LNEYA supporting a temperature range of -70℃~+200℃, and can also customize various other temperature ranges, built-in multiple temperature sensors, multi-zone temperature control, precise FID adjustment and temperature control; supports direct cooling, liquid cooling, and air cooling.

열교환 냉각기 ETCU

-컴프레서 없음

ETCU 압축기가 없는 열교환 시스템인 이 시스템은 범용 팽창 탱크, 응축기, 냉각수 시스템 등이 될 수 있어 장비의 크기를 효과적으로 줄이고 작동 단계 수를 줄일 수 있습니다.

열 프로브

—Chip design, chip production process testing

Supports rapid heating and cooling from extremely low temperatures to high temperatures. The fastest rate can reach 50’C/min. It can accurately control the temperature, and the error is usually within +0.2℃.

ZLTZ Heat Exchange Chillers

—Highly efficient heat exchange, automatic recovery of heat transfer medium

ZLTZ temperature control unit is combined with a microchannel reactor to achieve high exothermic temperature control. Under the same flow rate conditions, the heat transfer efficiency is more than five times that of thermal oil heat exchange and temperature control. At the same time, the inlet and outlet temperature difference is small, and the temperature field is highly uniform, making it particularly suitable for applications with violent exothermic reactions.

ZLJ Direct low temp chillers

—Can be used for gas capture

The refrigerant in the refrigeration system is directly transferred to the target control element (heat exchanger) for heat exchange, thereby cooling the target control object. This system has a heat exchange capacity that is typically more than five times greater than that of a fluid (gas) being transferred to a heat exchanger. This makes it particularly suitable for applications where the heat exchanger has a small heat exchange surface but a high heat transfer capacity.

급속 온도 변화 테스트 챔버

-빠른 온도 변화, 빠른 가열 및 냉각 속도

환경 스트레스 스크리닝 테스트에 적용하여 제품의 환경 스트레스 스크리닝을 통해 제품 설계 결함 발견을 가속화하고 제품 신뢰성을 향상시킵니다. 많은 산업에서 고속 온도 변화주기 테스트를 통해 이미 생산 테스트 단계에 진입한 신뢰할 수 없는 시스템을 식별할 수 있다는 사실을 깨달았습니다. 이는 품질을 개선하고 제품의 정상적인 작동 수명을 효과적으로 연장하는 표준 방법이 되었습니다.

Chip Aging Test Chamber

—Applicable for semiconductor PCB aging testing

By precisely controlling environmental parameters such as temperature and humidity, we simulate extreme conditions such as high temperature, high humidity, and high stress that chips may encounter in actual use, accelerating the chip aging process. In this way, we can screen out early-failed chips in a short period of time, optimize design solutions, and improve product yields.

LQ 시리즈

-저온은 -110℃까지 도달할 수 있습니다.

가스 냉각에 적용(비부식성): 건조 압축 공기, 질소, 아르곤 및 기타 상온 가스를 LQ 시리즈 장비에 도입하면 배출 가스가 목표 저온에 도달하여 테스트할 부품 또는 열교환기에 공급될 수 있습니다.

AES Thermal Stream

—Fast heating and cooling rate, +150℃~-55℃ in less than 10S

Provides accurate and rapid ambient temperature readings for chips, modules, integrated circuit boards, electronic components, etc. It is an instrument for product electrical performance testing, failure analysis, and reliability assessment.

AET Themal Test System

—Optional control of outlet gas temperature and process target temperature

Compressed air enters the gas rapid temperature change tester, which has a built-in desiccant to pre-dry the gas to a dew point below -70 degrees Celsius. Cooling and heating temperature control are then applied to output gas at a stable flow rate, pressure, and constant temperature. This temperature control is performed on target objects (such as various temperature-controlled chucks, cavity environments, heat plates, material shuttles, cavities, electronic components, etc.). The process temperature is controlled using a temperature sensor on the remote chuck, automatically adjusting the output gas temperature.

—Circulating air high and low temperature constant temperature test

Used in high and low temperature testing of semiconductor equipment. It provides a heat source for high and low temperature constant temperature testing of electronic equipment. It has an independent refrigeration cycle fan unit and can operate continuously for long periods of time, with automatic defrosting, and the defrosting process does not affect the storage temperature.

—Low dew point drying and cleaning

It is used in sensors, semiconductor manufacturing, film and packaging material licensing, powder material transportation, spraying systems, food industry, pharmaceutical industry, etc., which require a distributed air source with a low dew point of -80℃ and cleanliness.

Negative pressure type 냉각기

—Achieve temperature fluctuation ≤±0.3℃

Precise temperature control is achieved through fluid circulation in a negative pressure environment. Working principle: A negative pressure generator drives the heat transfer medium (water/oil) to circulate, eliminating the risk of leakage. Suitable for cooling various types of boards.