LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd
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온도 범위 -45℃~90℃, 정밀도 ±0.1℃, 독립 제어
독립적 온도 제어
FLTZ 가변 주파수 멀티 채널 냉각기는 멀티 채널 독립 온도 제어 기능을 갖추고 있습니다. 각 채널마다 다른 온도 범위, 냉난방 능력, 열전달 매체 유량을 설계할 수 있습니다. 필요한 온도 범위에 따라 증기 압축 냉동 방식 또는 ETCU 압축기 없는 열교환 시스템을 선택할 수 있습니다.
중앙 집중식 제어
FLTZ 가변 주파수 멀티 채널 냉각기는 하나의 본체로 여러 유체 채널 시스템을 제어할 수 있습니다. 하나의 시스템을 통해 여러 채널을 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 중앙 집중식 제어는 운영 효율성을 향상시킬 뿐만 아니라 오류 진단 및 운영 절차를 최적화합니다.
공간 절약 및 배선 감소
서로 다른 채널이 팽창 탱크, 응축기, 냉각수 시스템 등을 공유할 수 있어 배선 수와 장비 크기를 효과적으로 줄여 멀티 채널 냉각기를 더욱 컴팩트하게 만들고 점유 면적을 줄일 수 있습니다.
정밀하고 안정적인 온도 제어
FLTZ 가변 주파수 멀티 채널 냉각기의 온도 제어 정밀도는 최대 ±0.1℃입니다. 모델 프리 자체 구축 알고리즘과 히스테리시스 예측기를 채택하고, 가변 주파수 팬, 전자 팽창 밸브, 가변 주파수 압축기를 동시에 제어하여 열부하 변동 시에도 온도 제어의 안정성을 보장할 수 있습니다.
가변 주파수를 통한 에너지 절약
FLTZ 가변 주파수 멀티 채널 냉각기에는 가변 주파수 압축기, 팬 및 펌프가 장착되어 있어 귀하 장비의 부하에 따라 각각 압축기, 팬, 펌프의 모터 속도를 제어할 수 있습니다.
압축기 가열
온도가 40℃ 미만일 때, 멀티 채널 냉각기는 팽창 밸브를 통해 압축기의 뜨거운 토출 가스를 순환시킬 수 있으며, 히터 없이도 순환 유체를 가열할 수 있습니다.
펌프 유지보수 비용 절감
본 냉각기는 기계적 씰이 없는 마그네틱 드라이브 펌프를 채택하여 축 씰 누출 문제가 없으므로 정기적인 펌프 누출 점검 또는 기계적 씰 교체가 필요 없어 펌프 운영 비용을 크게 절감합니다.
통신 기능
멀티 채널 공정 냉각기의 통신 프로토콜은 RS485 인터페이스 Modbus RTU 프로토콜과 이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜을 포함합니다.
사용자 친화적인 터치스크린 디스플레이
이 멀티 채널 재순환 냉각기는 맞춤형 컬러 터치스크린을 사용하여 장비의 작동 상태를 실시간으로 표시할 수 있을 뿐만 아니라 장비 작동 중 이상 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 작동 인터페이스는 간단하고 이해하기 쉬우며, 간단한 터치 및 슬라이드 조작으로 설정을 완료할 수 있습니다.
글로벌 공급 네트워크
LNEYA는 세계적으로 포괄적인 네트워크 시장을 보유하고 있으며, 당사의 냉각기는 전 세계 30개 이상의 국가 및 지역에 수출됩니다. 미국, 캐나다, 호주, 러시아, 한국 등 여러 국가에 대리점을 보유하고 있습니다. 따라서 당사는 전 세계적으로 당사의 냉각기와 고품질 서비스를 제공할 수 있습니다.
FLTZ 다채널 칠러는 정밀한 온도 제어, 독립적인 회로 관리, 신속한 냉각 등의 장점으로 인해 반도체 산업에서 널리 활용되고 있습니다. 반도체용 칠러의 적용 분야로는 웨이퍼 제조, 패키징 및 테스트, 포토리소그래피, 식각(Etching), CVD/PVD 증착, 세정 공정 등이 있습니다.
포토리소그래피 장비의 노광 시스템, 광학 렌즈, 레이저 광원 및 마스크 플레이트는 패턴 정확도를 보장하기 위해 정밀한 온도 제어가 필요합니다.
플라즈마 에칭(RIE, ICP 등) 공정에서는 에칭 균일성을 확보하기 위해 챔버와 전극의 온도를 엄격하게 제어해야 합니다. 칠러는 에칭 장비에 안정적인 온도 환경을 제공하여 공정 편차를 줄여줍니다.
CVD(예: LPCVD, PECVD) 및 PVD(예: 스퍼터링 코팅)는 박막 증착에 사용되며, 챔버 및 기판의 온도 제어는 박막의 품질에 영향을 미칩니다.
이온 주입 과정에서 발생하는 고에너지 입자 빔은 국부적인 고온을 유발할 수 있습니다. 공정 칠러는 이러한 열을 신속하게 제거하여 웨이퍼의 열 손상을 방지합니다.
어닐링 공정 중 칠러는 도핑된 원자의 활성화 효율을 최적화하기 위해 냉각 속도를 동적으로 조절해야 합니다.
탈이온수를 특정 온도 범위 내로 유지하여 포토레지스트 잔류물, 금속 오염물질 및 미립자를 제거하는 데 사용됩니다.
BGA, CSP, FCBGA 등의 패키징 공정에서 용접 및 패키징 재료의 온도 제어는 신뢰성에 영향을 미칩니다.
| 항목 | 채널 1 (Channel 1) | 채널 2 (Channel 2) |
|---|---|---|
| 모델(Model) | FLTZ-203W-2T | FLTZ-203W-2T |
| 배관 채널 (Pipeline) | 채널 1 | 채널 2 |
| 온도 범위 | -20℃ ~ +90℃ | -20℃ ~ +90℃ |
| 온도 제어 정밀도 | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) |
| 냉각 용량 | 4kW @ -10℃ | 4kW @ -10℃ |
| 가열 용량 | 2kW | 2kW |
| 열전달 매체 유량 | 20L/min · 0.5MPa | 20L/min · 0.5MPa |
| 열전달 매체 연결 규격 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ |
| 주변 습도 | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% |
| 냉각수 온도 | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ |
| 냉각수 유량 | 20L/min | 20L/min |
| 중량 | 400kg | 400kg |
| 외형 치수 (cm) | 50 × 90 × 160 | 50 × 90 × 160 |
| 항목 | 채널 1 (Channel 1) | 채널 2 (Channel 2) |
|---|---|---|
| 모델(Model) | FLTZ-406W / ETCU-015W | FLTZ-406W / ETCU-015W |
| 온도 범위 | -45℃ ~ +40℃ | +10℃ ~ +80℃ |
| 온도 제어 정밀도 | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 가능) |
| 냉각/가열 성능 | 11kW @ -20℃ / 5kW @ -40℃ | 13kW @ +10℃ |
| 열전달 매체 유량 | 2kW | 6kW |
| 열전달 매체 연결 규격 | 17L/min · 0.7MPa | 17L/min · 0.7MPa |
| 열교환 인터페이스 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ |
| 주변 습도 | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% |
| 냉각수 온도 | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ |
| 냉각수 유량 | 40L/min | 20L/min |
| 중량 | 550kg | 550kg |
| 외형 치수 (cm) | 60 × 100 × 185 | 60 × 100 × 185 |
| 항목 | FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템 |
|---|---|---|---|
| 온도 범위 | -20℃ ~ 90℃ | -30℃ ~ 90℃ | -45℃ ~ 90℃ |
| 온도 제어 정밀도 | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) |
| 열전달 매체 유량 | 15~45 L/min · 최대 6 bar | 15~45 L/min · 최대 6 bar | 15~45 L/min · 최대 6 bar |
| 가열 용량 | 2.5 kW | 2.5 kW | 3.5 kW |
| 2.5 kW | 2.5 kW | 3.5 kW | |
| 냉각 용량 | 3 kW @ -15℃ | 3 kW @ -15℃ | 5 kW @ -15℃ |
| 3 kW @ -15℃ | 3 kW @ -15℃ | 5 kW @ -15℃ | |
| 2.5 kW @ -35℃ | 2.5 kW @ -35℃ | 2.5 kW @ -35℃ | |
| 내부 순환 유체 용량 | 5 L / 5 L | 8 L / 8 L | 8 L / 8 L |
| 냉각수 인터페이스 | 50 L/min @ 20℃ | 600 L/min @ 20℃ | 50 L/min @ 20℃ |
| 항목 | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
|---|---|---|---|
| 모델(Model) | FLTZ-203W / ETCU-008W | FLTZ-203W / ETCU-008W | FLTZ-203W / ETCU-008W |
| 배관 채널 (Pipeline) | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
| 온도 범위 | -10℃ ~ +60℃ | +30℃ ~ +80℃ | -10℃ ~ +80℃ |
| 온도 안정도 | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) |
| 냉각 용량 | 4kW @ -10℃ / 21kW @ +20℃ | 6kW @ +30℃ | 3kW @ -10℃ |
| 가열 용량 | 4kW | 4.5~6kW | 3kW |
| 열전달 매체 유량 | 17L/min · 0.7MPa | 17L/min · 0.7MPa | 17L/min · 0.7MPa |
| 열전달 매체 연결 규격 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ |
| 주변 습도 | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% |
| 냉각수 온도 | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ |
| 냉각수 유량 | 30L/min @ 15~20℃ | 15L/min @ 15~20℃ | 15L/min @ 15~20℃ |
| 차단기 (Circuit Breaker) | 100A | 100A | 100A |
| 중량 | 600kg | 600kg | 600kg |
| 외형 치수 (cm) | 60 × 100 × 170 | 60 × 100 × 170 | 60 × 100 × 170 |
| 항목 | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
|---|---|---|---|
| 모델(Model) | FLT-215W / ETCU-015W / ETCU-008W | FLT-215W / ETCU-015W / ETCU-008W | FLT-215W / ETCU-015W / ETCU-008W |
| 배관 채널 (Pipeline) | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
| 온도 범위 | -20℃ ~ +50℃ | +30℃ ~ +100℃ | +30℃ ~ +40℃ |
| 온도 안정도 | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) | ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) |
| 냉각 용량 | 15kW @ -10℃ | 13kW @ PCW +15℃ | 8kW @ PCW +10℃ |
| 가열 용량 | 2kW | 6kW | 펌프 열 손실 (Pump Heat Loss) |
| 열전달 매체 유량 | 30L/min · 0.85MPa | 30L/min · 0.85MPa | 20L/min · 0.8MPa |
| 열전달 매체 연결 규격 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ | 10 ~ 35℃ |
| 주변 습도 | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% | 30 ~ 70% |
| 냉각수 온도 | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ | 15 ~ 20℃ |
| 냉각수 유량 | 30L/min @ 15~20℃ | 15L/min @ 15~20℃ | 15L/min @ 15~20℃ |
| 차단기 (Circuit Breaker) | 75A | 75A | 75A |
| 중량 | 600kg | 600kg | 600kg |
| 외형 치수 (cm) | 60 × 100 × 170 | 60 × 100 × 170 | 60 × 100 × 170 |
여러 장비 또는 공정에 대해 독립적인 온도 제어가 필요하지만, 여러 대의 독립형 칠러를 구매하고 싶지 않다면 FLTZ 다채널 칠러가 매우 이상적인 선택입니다.
LNEYA는 2010년 중국 우시에서 설립되었습니다. 현재 25,000㎡ 규모의 공장을 보유하고 있으며,
연간 5,000대의 제품을 생산하고 2년 연속 3억 위안 이상의 매출을 달성했습니다.
LNEYA는 설립 이후 반도체, 제약화학, 신에너지, 항공우주 등 다양한 산업 분야에 고온·저온, 초저온 및 정밀 온도 제어 서비스를 제공하는 데 주력해 왔습니다.
저희는 전 세계 3만 명 이상의 고객에게 서비스를 제공해 왔으며 130개 이상의 특허를 보유하고 있습니다.
당사의 칠러는 전 세계 100여 개 대학 연구실 프로젝트에 선정되었으며 20여 개국에 수출되었습니다. 유럽 여러 국가 및 지역에 대리점을 두고 있습니다.
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양식을 작성해 주시면 저희 팀이 곧 연락드리겠습니다.
