열 척 또는 열 플레이트/열 제어 장치

MD -75℃~225℃

직접 냉각 냉각기 반도체 테스트 냉각기

온도 정확도±0.1℃
난방 전력-60°C ~ +25°C: 0°C ~ +25°C: 2분 2분 +25°C ~ +220°C: 6분
냉각 성능220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분
소스 전원2.8KW
평면 모양원형/정사각형

냉각기+척 직접 냉각

문의

빠른 온도 변화 제어 척

-75℃ ~ 225°C

모델	MD-708	MD-712	MDL-708
Temp. Range	-75℃～225℃	-75℃～225℃	-75℃～225℃
온도 제어 정확도	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
온도 균일성	±1℃	±1℃	±1℃
평탄도	±50um	±50um	±50um
태블릿 크기	직경 200mm 디스크	직경 300mm 디스크	150mm*200mm
호스트 및 카드 케이블	2.5m(다른 길이는 사용자 지정 가능)
평평한 표면 처리	전기 도금 니켈(금도금 옵션)
가열	-60°C ~ +25°C: 2분 0°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ +220°C: 6분
쿨 다운	220°C ~ +25°C: 2분 +25°C ~ -60°C: 6분
제어 시스템	PLC 컨트롤러, 난방 피드 포워드 PID 퍼지 알고리즘, 냉각 전자 팽창 밸브 PID 조정 제어 냉각 용량 제어
표시 및 기록	7인치 컬러 터치 스크린, 기록 온도 곡선
커뮤니케이션	이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜
냉동 컴프레서	타이강
전원 공급 장치	220V 50/60HZ 2.8KW	220V 50/60HZ 4.5KW	220V 50/60HZ 2.8KW
호스트 크기 mm	550×650×370	550×650×370	550×650×370

제품 설명

MD의 열 테스트 분야에서 가장 큰 혁신은 반도체 웨이퍼의 성능 테스트, 모델링, 공정 개발, 설계 결함 또는 IC 고장 분석에 주로 사용되는 일련의 열 제어 척입니다. 빠른 온도 변화를 실현하고 온도를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 시스템 자체에 자체 냉장고가 있어 액체 질소, 이산화탄소 등의 소비를 피할 수 있으며, 각 시스템에는 척과 냉온 제어 장치가 포함되어 있습니다.

플레이트 내부는 냉매의 직접 증발 방식을 채택하여 액체 냉각 방식에 비해 열교환 효율과 플레이트의 단위 면적당 열교환 력을 크게 향상시킵니다.

최대 25°C/min의 빠른 냉각/가열 속도

액체 질소, 이산화탄소 등의 소비를 피하기 위한 내장형 냉장고. 프로그래밍 가능한 자동화, 온도 안정성 +/- 0.1℃

컨트롤러는 터치 스크린과 원격 인터페이스를 제공하여 장비 온도를 정밀하게 제어하고 모니터링합니다.
Display test status – real-time data

써멀 척 MD 시리즈는 개방형 평판 작업 플랫폼, 빠른 온도 상승 및 하강, 일정한 온도 제어 기능을 제공하여 RF 장치 및 고밀도 전력 장치(IGBTS 및 MOSFET) 테스트에 사용할 수 있으며 실험실 평판(플라즈마, 생물학적 제품, 배터리) 등의 급속 냉각에도 사용할 수 있습니다.

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