YQH 0℃~-75℃

폐가스 응축 포집 및 회수, 반도체 배기가스 정화

반도체 테스트 냉각기

저온 영역 압력8 바
냉각수 @25℃1300L/H~3000L/H 1bar~4bar
전원3kW~8kW

가스 회수 로컬 스크러버 VOC

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VOCS 가스 응축 포집 및 회수

다양한 휘발성 VOCs 가스 회수에 적합; 빠른 냉각, 고효율, 다양한 응축 온도 요구 사항 충족, 저온은 -75 ° C에 도달 할 수 있습니다.

유해 가스는 어디에서 발생하나요?

주로 칩 또는 회로 기판 생산의 세척, 접착제 레벨링, 접착제 제거, 에칭 및 개발 공정에서 발생합니다.

높은 배기량과 낮은 배출 농도

집적 회로 제조의 핵심 공정에서는 다량의 산염기, 아르산, 포스핀, 유기 및 기타 공정 폐가스가 발생합니다. 폐가스 응축 포집 및 회수를 위해서는 로컬 스크러버가 필요합니다.

유기 폐가스는 주로 세정, CVD, 포토리소그래피, 습식 에칭, 디검 및 확산 공정에서 발생합니다. 유기 폐가스의 유형에는 주로 이소프로필 알코올, 아세톤, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 에틸 젖산, 부틸 아세테이트, 중질 방향족 등이 포함됩니다.

매개변수

모델	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
가스 흐름	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
최저 온도	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
1단계 온도	0℃	0℃	0℃	0℃
콜드 박스 압력	8bar	8bar	8bar	8bar
열 교환 영역	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
열교환기 재료	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
압력 모니터링	1차 및 2차 증발 트랩의 입구와 출구에 대한 결빙 방지 압력 모니터링 및 보호
제상 제어	압력 모니터링을 기반으로 제상 제어 수행 가능
공기 흡입구 직경	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
회수 액체 저장 탱크	10L 회수 이송 펌프 옵션 설치		15L 회수 이송 펌프 옵션 설치
드레인 포트 직경	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
제어 시스템	지멘스 PLC
표시 및 기록	7인치 컬러 터치 스크린
압축기	에머슨 코플랜드 스크롤 플렉시블 컴프레서(방폭형 에폭시 수지 캡슐화)
전원 공급 장치 380V 50HZ MAX	3.5KW	5KW	4KW	6KW
크기	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
냉각수(수냉)20℃	1800L/H 1 BAR~4 BAR G3/4		3000L/H 1 BAR~4 BAR G3/4

작동 원리

휘발성 VOCS 가스를 장비 콜드 박스에 주입합니다(장치는 3°C-40°C-75°C-115°C의 응축 온도로 설정되어 있습니다). 다른 온도 영역은 단계별 응축 및 액화에 대한 요구 사항에 따라 사용자 지정할 수 있습니다. 일부 연속 생산 공정에는 저온 섹션에서 이중 채널 전환 프로세스가 있습니다(한쪽이 얼음으로 막힌 후 콜드 박스에서 열 교환 및 응축을 위해 다른 채널로 직접 전환되고 동시에 얼음 막힘이 제상 처리를 위해 테스트됨).

맞춤형 25 BAR

열교환 시스템 압력 저항

-40~-75℃

다양한 온도에 대응

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