LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체
반도체 멀티 채널 냉각기
FLTZ -45℃~100℃
- 온도 정확도±0.1℃
- 냉장R404A
- 흐름 제어25~75분/분 최대 6bar
- 전력 범위380V 3kW~17kW
반도체 생산 테스트 공정의 온도 제어
40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 동안 연속적으로 작동합니다.
프론트엔드에서 백엔드까지 전체 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰성 있게 보장합니다.
주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어에 사용되며, 압축기 고온 가스 가열 방식을 사용하여 40°C 이내로 가열합니다.
구성 세부 정보
FLTZ -20℃~90℃ 듀얼 채널
| 모델 | FLTZ-203W-2T | |
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 |
| 온도 범위 | -20℃～+90℃ | -20℃~～90℃ |
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 냉각 용량 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 난방 용량 | 2kW | 2kW |
| 열전달 매체 흐름 | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| 열전달 매체 인터페이스 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 온도 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 흐름 | 20L/min | 20L/min |
| 회로 차단기 | 30A | |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어 | |
| 무게 | 400kg | |
| 치수 | 500*900*1600 | |
FLTZ -10℃~90℃ 듀얼 채널
| 모델 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 파이프라인 | 채널 1 | 채널 2 | 채널 3 |
| 온도 범위 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 냉각 용량 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 난방 용량 | 2kW | 6kW | 펌프 열 손실 |
| 열전달 매체 흐름 | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| 열전달 매체 인터페이스 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 냉각수 온도 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 흐름 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 회로 차단기 | 75A | ||
| 공정 온도 제어 | 자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어 | ||
| 무게 | 600kg | ||
| 치수 | 600*1000*1700 | ||
| 모델 | FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템 | |||
| 온도 범위 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃ | |||||
| 흐름 제어 및 압력 | 최대 15~45L/min 6bar | |||||
| 난방 | 2.5kw | 2.5kw | 2.5kw | 2.5kw | 3.5kw | 3.5kw |
| 냉각 용량 | 15℃에서 3KW | 15℃에서 3KW | 15℃에서 5KW | 15℃에서 5KW | 2.5KW(-35℃ 기준) | 2.5KW(-35℃ 기준) |
| 내부 순환 액체 부피 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 확장 탱크 용량 | 15L | 25L | 25L | |||
| 열전달 매체 | 불소화, 부동액, 열 실리콘 오일 등 | |||||
| 냉매 | R404A/R448 | |||||
| 열전달 매체 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 | 20℃에서 50L/min | 20℃에서 600L/min | 20℃에서 50L/min | |||
| 전원 공급 장치 | 3상 220V / 3상 400V / 3상 460V | |||||
| 공정 온도 제어 | 자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어 | |||||
FLTZ -45℃~90℃ 듀얼 채널
| 모델 | FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템 | |||
| 온도 범위 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 온도 제어 정확도 | ±0.1℃ | |||||
| 열 전도성 매체 유량 | 최대 15~45L/min 6bar | |||||
| 난방 용량 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 냉각 용량 | 15℃에서 3kW | 15℃에서 3kW | 15℃에서 5kW | 15℃에서 5kW | 2.5kW(-35℃ 기준) | 2.5kW(-35℃ 기준) |
| 내부 순환 체액 용량 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 확장 탱크 용량 | 15L | 25L | 25L | |||
| 열 전도성 매체 | 불소화 액체, 부동액, 열 전도성 실리콘 오일 등 | |||||
| 냉매 | R404A/R448 | |||||
| 열 전도성 매체 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 인터페이스 | 20℃에서 50L/min | 20℃에서 600L/min | 20℃에서 50L/min | |||
| 전원 | 3상 220V/3상 400V/3상 460V | |||||
| 공정 온도 제어 | 원격 목표 온도는 자체 생성 된 모델 무료 자체 구축 트리를 결합하여 제어 할 수 있습니다. 알고리즘 및 캐스케이드 알고리즘 |
|||||
설명
다중 채널 독립 온도 제어는 별도의 온도 범위, 냉각 및 가열 기능, 열 전달 매체 흐름 등을 가질 수 있습니다. 두 개의 독립적인 시스템이 사용됩니다. 필요한 온도 범위에 따라 증기 압축 냉동 또는 ETCU 압축기가 없는 열교환 시스템을 선택할 수 있습니다. 이 시스템은 팽창 탱크, 콘덴서, 냉각수 시스템 등을 사용할 수 있어 장비 크기를 효과적으로 줄이고 작동 단계를 줄일 수 있습니다.
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
애플리케이션
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