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FLT-100℃~80℃ 저온 캐스케이드

FLT -100℃~80℃

주요 응용 분야는 반도체 생산 공정 및 테스트 공정에서 온도를 정확하게 제어하는 것입니다. 가열 방식은 40°C 이내이며 압축기 고온 가스를 사용하여 농축액을 가열합니다.
  • 온도 정확도±0.1℃
  • 흐름 제어12~45분
  • 유형저온 캐스케이드
  • 전력 범위380V

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구성 세부 정보

모델

FLT-803W

FLT-805W

FLT-806W

FLT-808W

FLT-810W

온도 범위

-80℃~+80℃

온도 제어 정확도

±0.1℃  

흐름 제어

7~25L/min

12~45L/min

 

유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 유량 센서의 피드백 신호에 따라 속도가 자동으로 조정됩니다. 순환 펌프의 최대 압력은 6bar입니다.

냉각 용량@-70℃

0.6KW

1KW

1.5KW

2KW

3KW

난방 전력

2KW

2KW

2KW

3.5KW

3.5KW

내부 순환 체액량

4L

5L

6L

8L

10L

확장 탱크 용량

10L

10L

15L

15L

20L

열 매체

불소화 액체

인그레스 및 아웃그레스 인터페이스

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

냉각수 인터페이스

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

G1

G1

냉각수 @20℃

1.8m3/h

2.5m3/h

3m3/h

5m3/h

6m3/h

전원 공급 장치

380V 50HZ

차단기

25A

25A

32A

40A

50A

모델

FLT-1002W

FLT-1004W

온도 범위

-100℃~+80℃

-100℃~+80℃

온도 정확도

±0.1℃  

±0.1℃  

흐름 제어 

7~25L/min

12~45L/min

 

유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 유량 센서의 피드백 신호에 따라 속도가 자동으로 조정됩니다. 순환 펌프의 최대 압력은 6bar입니다.

냉각 용량@-90℃

1.5KW

3KW

난방 전력

3.5KW

5.5KW

내부 순환 체액 용량

5L

8L

확장 탱크 용량

10L

15L

열 매체

불소화 액체

인그레스 및 아웃그레스 인터페이스

ZG3/4

ZG3/4

냉각수 인터페이스

G3/4

G1

냉각수 @20℃

50L/min 2bar~7bar

100L/min 2bar~7bar

전원

380V 50HZ

380V 50HZ

차단기

32A

63A

무게

700*800*1850

800*1200*1850

애플리케이션

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