Semiconductor Process Cooling Chiller

Conventional type FLT -45℃~80℃

냉각 냉각기

온도 정확도±0.1℃
흐름 제어25~75분/분 최대 6bar
냉장R404A
전력 범위380V 3.5kW~16kW

냉각 냉각기 반도체 냉각기

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반도체 생산 및 테스트 공정의 온도 제어

40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 동안 연속적으로 작동합니다.

프론트엔드에서 백엔드까지 전체 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰성 있게 보장합니다.

제품 설명

반도체 온도 제어 장치인 칠러는 주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어를 위해 사용됩니다. 불소계 액체 온도 제어(최소 -100도), 가스 냉난방 급속 온도 변화, 급속 온도 변화 척, 저온 가스 냉동기(-120도), 직접 냉각 냉동 장치(-150도) 등의 제품을 생산하고 있습니다. 시스템에 다양한 알고리즘(PID, 피드포워드 PID, 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘)을 적용하여 빠른 응답과 높은 제어 정확도를 실현합니다.

냉각기의 배기 및 흡입 온도(압력), 응축 온도, 냉각수 온도(압력), 입구 및 출구 액체(가스) 온도(압력), 전력, 각 부품의 전류 및 전압, 물 탱크 수위 등 중요한 정보는 모두 제어 시스템에 연결된 센서를 통해 종합적으로 관리, 모니터링, 기록됩니다.

40℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열을 채택합니다.

냉각기 순환 시스템은 완전 밀폐형 설계를 채택하고 순환 펌프는 마그네틱 드라이브 펌프를 채택합니다.

냉각기 100% 헬륨 테스트, 시스템 안전 및 신뢰성을 보장하기 위한 100% 안전 규정 테스트.

냉각기는 100%에서 24시간 동안 복사기를 계속 작동합니다.

Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기

주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.

구성 세부 정보

모델	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
온도 제어	5℃～40℃
온도 정확도	±0.05℃
흐름 제어	최대 10~25L/min 5bar		최대 15~45L/min 6bar			최대 25~75L/min 6bar
냉장 용량@10℃	6kw	8kw	10kw	15㎾	20kw	25kw	40kw
내부 순환 액체 부피	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
확장 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R410A
2차 냉매	실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌 글리콜 수용액, DI 등(DI 온도는 10℃ 이상으로 제어해야 함)
진입 및 종료 인터페이스	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
냉각수 배출구	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
냉각수 유량@20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
전원 공급 장치 380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
온도 확장	전기 히터를 추가하여 온도 범위를 -25℃에서 80℃로 확장합니다.

모델	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
온도 범위	-25℃～40℃
온도 제어 정확도	±0.05℃
흐름 제어	10~25L/min ±0.3		15~45L/min ±0.3			25~75L/min ±0.3
흐름 제어	유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 순환 펌프의 최대 압력은 5bar입니다.
냉장 보관 @-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
내부 순환 체액량	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
확장 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R404A
2차 냉매	물, 실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등이 있습니다.
인그레스 및 아웃그레스 인터페이스	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
냉각수 연결	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
냉각수 흐름@20℃	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
전원 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
임시 확장	전기 히터를 추가하면 -25℃~80℃까지 확장할 수 있습니다.

모델	FLT-402 FLT-402W	FLT-403 FLT-403W	FLT-404 FLT-404W	FLT-406 FLT-406W	FLT-408 FLT-408W	FLT-410 FLT-410W	FLT-415 FLT-415W
온도 제어	-45℃～40℃
온도 제어 정확도	±0.05℃
흐름 제어	최대 10~25L/min 5bar		최대 15~45L/min 6bar			최대 25~75L/min 6bar
난방	콘덴서 프로스팅 기술을 방지하기 위해 컴프레서 가열을 사용합니다.
냉장 용량 @-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
내부 순환 체액 용량	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
확장 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R404A
2차 냉매	물, 실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등이 있습니다.
인그레스 및 아웃그레스 인터페이스	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
냉각수 연결	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
냉각수 흐름 @20℃	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
전원 380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
온도 확장	전기 히터를 추가하면 -25℃~80℃까지 확장할 수 있습니다.

Communication function

Standard equipment includes serial

Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

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