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Conventional Type FLT -45℃~80℃

Semiconductor Production & Testing Process Chiller

Conventional type FLT -45℃~80℃
  • 온도 정확도±0.1℃
  • 흐름 제어25~75분/분 최대 6bar
  • 냉장R404A
  • 전력 범위380V 3.5kW~16kW

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40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 동안 연속적으로 작동합니다.

구성 세부 정보

모델

FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

온도 제어

 5℃~40℃

온도 정확도

±0.05℃  

흐름 제어  

최대 10~25L/min 5bar

최대 15~45L/min 6bar

최대 25~75L/min 6bar

냉장 용량@10℃

 6kw

 8kw

 10kw

15㎾

 20kw

 25kw

 40kw

내부 순환 액체 부피

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

확장 탱크 용량

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

냉매

R410A

2차 냉매

실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌 글리콜 수용액, DI 등(DI 온도는 10℃ 이상으로 제어해야 함)

진입 및 종료 인터페이스

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

냉각수 배출구

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

냉각수 유량@20℃

1.5m³/h

2m³/h

2.5m³/h

4m³/h

4.5m³/h

5.6m³/h

9m³/h

전원 공급 장치 380V

3.5kW

4kW

5.5kW

7kW

9.5kW

12kW

16kW

온도 확장

전기 히터를 추가하여 온도 범위를 -25℃에서 80℃로 확장합니다.

모델

FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

온도 범위

-25℃~40℃

온도 제어 정확도

±0.05℃  

흐름 제어  

10~25L/min ±0.3

15~45L/min ±0.3

25~75L/min ±0.3

유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 순환 펌프의 최대 압력은 5bar입니다.

냉장 보관

@-15℃

2kw

3kw

3.8kw

6kw

7.6kw

10kw

15kw

내부 순환 체액량

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

확장 탱크 용량

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

냉매

R404A

2차 냉매

물, 실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등이 있습니다.

인그레스 및 아웃그레스 인터페이스

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

냉각수 연결

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

냉각수 흐름@20℃

1.2m³/H

1.6m³/H

2.6m³/H

3.6m³/H

5.5m³/H

7m³/H

10.2m³/H

전원 380V

3KW

4KW

6KW

8KW

9KW

13KW

17KW

임시 확장

전기 히터를 추가하면 -25℃~80℃까지 확장할 수 있습니다.

모델

FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

온도 제어

 -45℃~40℃

온도 제어 정확도

±0.05℃  

흐름 제어  

최대 10~25L/min 5bar

최대 15~45L/min 6bar

최대 25~75L/min 6bar

난방

콘덴서 프로스팅 기술을 방지하기 위해 컴프레서 가열을 사용합니다.

냉장 용량

@-35℃

1kw

1.4kw

1.8kw

2.5kw

3.3kw

5kw

8kw

내부 순환 체액 용량

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

확장 탱크 용량

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

냉매

R404A

2차 냉매

물, 실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등이 있습니다.

인그레스 및 아웃그레스 인터페이스

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG3/4

냉각수 연결

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

냉각수 흐름 @20℃

1.5m³/H

2.4m³/H

3.5m³/H

5m³/H

5.5m³/H

6m³/H

8m³/H

전원 380V

3KW

4KW

6KW

7.5KW

9KW

12KW

15KW

온도 확장

전기 히터를 추가하면 -25℃~80℃까지 확장할 수 있습니다.

제품 설명

반도체 온도 제어 장치인 칠러는 주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어를 위해 사용됩니다. 불소계 액체 온도 제어(최소 -100도), 가스 냉난방 급속 온도 변화, 급속 온도 변화 척, 저온 가스 냉동기(-120도), 직접 냉각 냉동 장치(-150도) 등의 제품을 생산하고 있습니다. 시스템에 다양한 알고리즘(PID, 피드포워드 PID, 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘)을 적용하여 빠른 응답과 높은 제어 정확도를 실현합니다.

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