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유량 제어 12L/min~45L/min 내부 순환 액체
반도체 제조 중 온도 제어 유량 제어 12L/min~45L/min 온도 정확도 ±0.1℃ @40℃~-10℃
유량 제어 12L/min~45L/min 온도 정확도 ±0.1℃ @-60℃~-30℃
LNEYA 공냉식 냉각기 또는 수냉식 냉각기
