LTS -40℃～35℃

Temperature control during semiconductor manufacturing

흐름 제어12L/min~45L/min
온도 정확도±0.1℃ @40℃~-10℃
Internal circulating liquid4L~10L
확장 탱크10L~20L
원산지중국

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세부 매개 변수

모델	LTS-402	LTS-403	LTS-404	LTS-406	LTS-408
	LTS-402W	LTS-403W	LTS-404W	LTS-406W	LTS-408W
온도 범위	-40℃～35℃
온도 제어 정확도	±0.1℃ -40℃～-10℃
흐름 제어	7~25L/min		12~45L/min
	The flow control adopts frequency converter adjustment, and the speed is automatically adjusted according to the feedback signal of the flow sensor. The maximum pressure of the circulating pump is 5bar.
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L
확장 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L
시스템 압력 표시	The pressure of the refrigeration system is realized by a pointer pressure gauge (high pressure, low pressure)
	The pressure acquisition outlet position of the circulatory system is detected by a pressure sensor and displayed on the touch screen
컨트롤러	PLC, 퍼지 PID 제어 알고리즘, 캐스케이드 제어 알고리즘 포함
온도 제어	열전달 매체 출구 온도 제어 모드
	External temperature sensor: (PT100 or 4～20mA or communication setting) control mode (cascade control)
계약서	이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜
	RS485 인터페이스 모드버스 RTU 프로토콜
Internal temperature feedback of equipment	Equipment heat transfer medium outlet temperature, medium inlet temperature, refrigeration system condensation temperature, ambient temperature, compressor suction temperature, cooling water temperature (available for water-cooled equipment)
폐쇄형 순환 시스템	The whole system is a fully enclosed system, low temperature does not absorb moisture in the air, does not volatilize the heat transfer medium, and the low temperature automatically supplements the heat transfer medium into the circulation system
압축기	Emerson Copeland/Danfoss Scroll Flexible Compressor
순환 펌프	Magnetic circulation pump
증발기	판형 열교환기
콘덴서	Micro channel condenser (air-cooled)
	Plate heat exchanger (water-cooled), special attention: clean factory water is required
냉장 액세서리	Danfoss/Emerson accessories (filter drier, oil separator, high and low pressure protector, expansion valve)
조작 패널	Wuxi Guanya customized 7-inch color touch screen, temperature curve display\EXCEL data export
보안	With self-diagnosis function; phase sequence open-phase protector, refrigerating machine overload protection; high-pressure pressure switch, overload relay, thermal protection device and other security functions.
인/아웃 인터페이스 크기	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4

제품 설명

It is widely used in the semiconductor manufacturing process to control the temperature of the reaction chamber, the temperature of the heat sink, and the temperature control of the non-flammable fluid of the heat transfer medium.

1. The pressure holding test of the medium circulation system is 7 bar.
2. Use high-quality magnetic pump without mechanical shaft seal.
온도 샘플링 및 응답 속도를 최적화하고 제어 알고리즘을 특별히 설계하여 안정적인 온도 제어에 신속하게 대응할 수 있습니다.
4. Enhance the design of the circulating pump capacity to meet the high-lift requirements of the system.
5. Continuous high-temperature cooling technology meets the requirements for stable operation when heat is loaded on the heat sink plate and requires cooling and heating constant temperature control.
6. In view of the volatile characteristics of fluorinated liquid, the joint design and system sealing design are strengthened to ensure the service life of the medium.

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