AET -75℃~250℃
Air Cooling Chiller For chuck/chamber/Heat plate- 온도 제어 정확도±0.5℃
- Air treatment22m³/h~95m³/h
- 냉각 유형water cooling/air cooling
모든 종류의 반도체 칩, 플래시 메모리 플래시/EMMC, PCB 회로 기판, 광통신, 전자 산업 등의 IC 테스트에 적합합니다.
모델 | AET-4025 | AET-4050 | AET-4095W | AET-7025 | AET-7050W | AET-7095W |
AET-4025C | AET-4050C | AET-4095WC | AET-7025C | AET-7050WC | AET-7095WC | |
온도 범위 | -40℃~250℃ | -75℃~250℃ | ||||
온도 제어 정확도 | Gas outlet temperature control ±0.1°C, long-distance process temperature control accuracy ±0.5°C. You can choose to control the outlet gas temperature and process target temperature | |||||
Upgrade temperature rate | The temperature rise and fall rate of the gas temperature at the equipment outlet is greater than 30°C/min, and gradient temperature rise and fall can be performed | |||||
Air requirements | Air filter <5um Air oil content <0.1um Air temperature and humidity: 5°C-32℃℃ 0-50%RH Pressure 4bar~8bar | |||||
Air treatment | 22m³/h | 50m³/h | 95m³/h | 22m³/h | 50m³/h | 95m³/h |
스로틀링 방법 | The refrigeration system uses electronic expansion valve throttling to accurately control the cooling capacity | |||||
컨트롤러 | PLC programmable controller, standard support Modbus RTU protocol, RS485 interface, other communication protocols can be selected | |||||
Display record | 7-inch color touch screen, can display gas temperature, pressure, flow, refrigeration system pressure and temperature | |||||
공정 온도 제어 | Self-created model-free self-building tree algorithm combined with general anti-lag cascade algorithm to control process temperature | |||||
치수 cm | 43*46*112 | 52*57*132 | 60*63*160 | 54*69*112 | 65*85*132 | 75*95*160 |
Remarks | Suffix W represents water cooling and suffix c represents gas recycling |
설명
정격 시험 조건: 건구 온도 20℃, 습구 온도 16℃. 입구수 온도 20℃, 출구수 온도 25℃.
이 표의 데이터는 참고용입니다. 장치 명판의 매개변수를 참조하십시오.
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