ZLJ -40℃~-15℃

반도체 생산 공정을 위한 공랭식 냉각기

냉각기 직접 냉각식 극저온 냉각기 반도체 테스트 냉각기

압축기1.5마력~7마력
냉장R404A R507C R448
전력 범위380V 50HZ는 220V를 선택할 수 있습니다.
온도 정확도±0.5℃

공냉식 냉각기 반도체 냉각기

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반도체 생산 및 테스트 공정의 온도 제어

냉각기 직접 냉각 방식

여러 장치를 더 큰 캐비닛에 병합하여 여러 제어 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

열교환 면적이 작고 열교환 용량이 큰 경우 사용

구성 세부 정보

모델	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
모델	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
온도 범위	-40℃～-10℃
온도 제어 정확도	증발 온도 제어 ±0.5℃
스로틀링 방법	전자식 팽창 밸브
컨트롤러	지멘스 PLC
기록 보기	7인치 터치 스크린, 온도, 시스템 압력 및 기타 정보 기록
주요 구성 요소	댄포스 필터 드라이어, 캐스터 솔레노이드 밸브, 존슨 컨트롤즈 압력 센서, EBM 팬(공냉식), 댄포스/에머슨 오일 분리기,
압축기	세콥, 타이캉, 에머슨, 칼라일
냉매	R404A 옵션 R507C R448
고온 냉각	150도 고온 직접 냉각 기술로 고온 작동 중 빠른 냉각 능력의 목표를 충족합니다.
압축기	7/8HP	1.5HP	2HP	3HP	4HP	6HP	8HP
전원 공급 장치 V	220V 50HZ			380V 50HZ 사용자 정의 가능 220V

제품 설명

150℃의 고온에서 직접 냉각 기술을 탑재하여 고온 작동 시 빠른 냉각 능력 목표를 충족합니다.

이 제품은 냉동 시스템 내의 냉매를 대상 제어 요소(열교환기)로 직접 출력 및 증발시켜 열교환함으로써 대상 제어 대상을 냉각시킵니다. 열교환기로 운반되는 유체(가스)에 비해 열교환 용량이 일반적으로 5배 이상 높기 때문에 열교환기의 열교환 면적은 작지만 열교환 용량이 큰 응용 분야에 특히 적합합니다.

직접 냉각식 냉장고는 가스 포집으로도 사용할 수 있으며, 냉매가 트랩으로 직접 통과하여 증발하고 트랩 표면의 응축 효과를 통해 공간의 가스를 빠르게 포집합니다.

모양

1. 냉매 인터페이스 2. 휴대용 손잡이

3. 터치 스크린 4. 휴대용 손잡이

5. 터치 스크린 카드 슬롯 6. 공기 배출구

보안 보호

슈나이더 및 기타 브랜드의 잔류 전류 회로 차단기, 위상 시퀀스 차단기, 액체 레벨 보호기, 고전압 및 저전압 보호기, 고온 보호기 사용

데이터 통신 인터페이스

표준 구성에는 PT100 1개, USB 인터페이스, RS485 통신 인터페이스가 포함됩니다. 이더넷 인터페이스뿐만 아니라 다양한 아날로그 인터페이스와 접점 신호를 선택할 수 있습니다.

신청 절차

반도체 웨이퍼 공장의 에칭, 화학 기상 증착 및 물리적 기상 증착 공정에 광범위하게 적용 가능합니다.

웨이퍼 에칭

화학 기상 증착

물리적 기상 증착

ETCH

CVD

PVD

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