제품의 수율을 높이고 수익성을 보장하기 위해서는 반도체 산업의 모든 단계에서 품질 관리가 이루어져야 합니다. 제품 품질에 영향을 미치는 중요한 요소 중 하나는 온도이며, 안정적이고 신뢰할 수 있는 제품을 보장하기 위해서는 온도 안정성과 정확성이 매우 중요합니다. 프론트엔드에서 백엔드까지 전반적인 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰할 수 있도록 보장합니다.
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
산화, 접착제 코팅, 포토리소그래피, 현상, 에칭, 이온 주입, 접착제 제거, 필름 증착, CMP, 세정 등 공정 공정에 사용할 수 있습니다.
LNEYA 공냉식 냉각기 또는 수냉식 냉각기
