YQH 0℃~-75℃
폐가스 응축 포집 및 회수, 반도체 배기가스 정화- 저온 영역 압력8 바
- 냉각수 @25℃1300L/H~3000L/H 1bar~4bar
- 전원3kW~8kW
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VOCS 가스 응축 포집 및 회수
다양한 휘발성 VOCs 가스 회수에 적합; 빠른 냉각, 고효율, 다양한 응축 온도 요구 사항 충족, 저온은 -75 ° C에 도달 할 수 있습니다.
유해 가스는 어디에서 발생하나요?
주로 칩 또는 회로 기판 생산의 세척, 접착제 레벨링, 접착제 제거, 에칭 및 개발 공정에서 발생합니다.
높은 배기량과 낮은 배출 농도
집적 회로 제조의 핵심 공정에서는 다량의 산염기, 아르산, 포스핀, 유기 및 기타 공정 폐가스가 발생합니다. 폐가스 응축 포집 및 회수를 위해서는 로컬 스크러버가 필요합니다.
유기 폐가스는 주로 세정, CVD, 포토리소그래피, 습식 에칭, 디검 및 확산 공정에서 발생합니다. 유기 폐가스의 유형에는 주로 이소프로필 알코올, 아세톤, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 에틸 젖산, 부틸 아세테이트, 중질 방향족 등이 포함됩니다.
매개변수
모델 |
YQH-3520EXd YQH-3520Wexd |
YQH-7520EXd YQH-7520WEXd |
YQH-3530EXd YQH-3530WEXd |
YQH-7530EXd YQH-7530WEXd |
가스 흐름 |
20m3/h |
20m3/h |
30m3/h |
30m3/h |
최저 온도 |
-35℃ |
-75℃ |
-35℃ |
-75℃ |
1단계 온도 |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
콜드 박스 압력 |
8bar |
8bar |
8bar |
8bar |
열 교환 영역 |
3m2*2 |
3m2*2 |
5m2*2 |
5m2*2 |
열교환기 재료 |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
압력 모니터링 |
1차 및 2차 증발 트랩의 입구와 출구에 대한 결빙 방지 압력 모니터링 및 보호 |
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제상 제어 |
압력 모니터링을 기반으로 제상 제어 수행 가능 |
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공기 흡입구 직경 |
DN40 PN16 |
DN40 PN16 |
DN50 PN16 |
DN50 PN16 |
회수 액체 저장 탱크 |
10L 회수 이송 펌프 옵션 설치 |
15L 회수 이송 펌프 옵션 설치 |
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드레인 포트 직경 |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
제어 시스템 |
지멘스 PLC |
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표시 및 기록 |
7인치 컬러 터치 스크린 |
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압축기 |
에머슨 코플랜드 스크롤 플렉시블 컴프레서(방폭형 에폭시 수지 캡슐화) |
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전원 공급 장치 380V 50HZ MAX |
3.5KW |
5KW |
4KW |
6KW |
크기 |
800*1200*1850 |
800*1200*1850 |
1000*1500*1850 |
1000*1500*1850 |
냉각수(수냉)20℃ |
1800L/H 1 BAR~4 BAR G3/4 |
3000L/H 1 BAR~4 BAR G3/4 |
작동 원리
휘발성 VOCS 가스를 장비 콜드 박스에 주입합니다(장치는 3°C-40°C-75°C-115°C의 응축 온도로 설정되어 있습니다). 다른 온도 영역은 단계별 응축 및 액화에 대한 요구 사항에 따라 사용자 지정할 수 있습니다. 일부 연속 생산 공정에는 저온 섹션에서 이중 채널 전환 프로세스가 있습니다(한쪽이 얼음으로 막힌 후 콜드 박스에서 열 교환 및 응축을 위해 다른 채널로 직접 전환되고 동시에 얼음 막힘이 제상 처리를 위해 테스트됨).
맞춤형 25 BAR
열교환 시스템 압력 저항
-40~-75℃
다양한 온도에 대응
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