LNEYA 공냉식 냉각기 또는 수냉식 냉각기
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반도체 생산 및 테스트 공정의 온도 제어
40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 동안 연속적으로 작동합니다.
프론트엔드에서 백엔드까지 전체 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰성 있게 보장합니다.
구성 세부 정보
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모델 |
FLT-002 FLT-002W |
FLT-003 FLT-003W |
FLT-004 FLT-004W |
FLT-006 FLT-006W |
FLT-008 FLT-008W |
FLT-010 FLT-010W |
FLT-015 FLT-015W |
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온도 제어 |
5℃～40℃ |
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온도 정확도 |
±0.1℃ |
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흐름 제어 |
최대 10~25L/min 5bar |
최대 15~45L/min 6bar |
최대 25~75L/min 6bar |
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냉장 용량@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15㎾ |
20kw |
25kw |
40kw |
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내부 순환 액체 부피 |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
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확장 탱크 용량 |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
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냉매 |
R410A |
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2차 냉매 |
실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌 글리콜 수용액, DI 등(DI 온도는 10℃ 이상으로 제어해야 함) |
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진입 및 종료 인터페이스 |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
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냉각수 배출구 |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
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냉각수 유량@20℃ |
1.5m³/h |
2m³/h |
2.5m³/h |
4m³/h |
4.5m³/h |
5.6m³/h |
9m³/h |
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전원 공급 장치 380V |
3.5kW |
4kW |
5.5kW |
7kW |
9.5kW |
12kW |
16kW |
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온도 확장 |
전기 히터를 추가하여 온도 범위를 -25℃에서 80℃로 확장합니다. |
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제품 설명
반도체 온도 제어 장치인 칠러는 주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어를 위해 사용됩니다. 불소계 액체 온도 제어(최소 -100도), 가스 냉난방 급속 온도 변화, 급속 온도 변화 척, 저온 가스 냉동기(-120도), 직접 냉각 냉동 장치(-150도) 등의 제품을 생산하고 있습니다. 시스템에 다양한 알고리즘(PID, 피드포워드 PID, 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘)을 적용하여 빠른 응답과 높은 제어 정확도를 실현합니다.
냉각기의 배기 및 흡입 온도(압력), 응축 온도, 냉각수 온도(압력), 입구 및 출구 액체(가스) 온도(압력), 전력, 각 부품의 전류 및 전압, 물 탱크 수위 등 중요한 정보는 모두 제어 시스템에 연결된 센서를 통해 종합적으로 관리, 모니터링, 기록됩니다.
40℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열을 채택합니다.
냉각기 순환 시스템은 완전 밀폐형 설계를 채택하고 순환 펌프는 마그네틱 드라이브 펌프를 채택합니다.
냉각기 100% 헬륨 테스트, 시스템 안전 및 신뢰성을 보장하기 위한 100% 안전 규정 테스트.
냉각기는 100%에서 24시간 동안 복사기를 계속 작동합니다.
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
애플리케이션
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