불소화 액체 온도 제어 시스템

불소화 액체 냉각 및 가열 온도 제어 시스템은 반도체 제조 공정에서 반응 챔버의 온도 제어, 방열판의 온도 제어, 열 전달이 필요한 불연성 유체의 온도 제어를 위해 널리 사용됩니다. 반도체 칩 제조 공정, 전력 장치 및 항공 전자 장비의 냉각 및 가열 온도 제어에 적합합니다.

불소화 유체는 환경의 지속 가능한 발전에 영향을 미치지 않는 저독성, 불연성, 고성능 제품으로 온실가스 배출을 줄일 수 있습니다. 동시에 불소화 액체의 휘발성 특성에 따라 조인트 설계 및 시스템 밀봉 설계를 강화하여 매체의 서비스 수명을 보장합니다.