LNEYA 공냉식 냉각기 또는 수냉식 냉각기
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구성 세부 정보
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모델 |
FLT-402 FLT-402W |
FLT-403 FLT-403W |
FLT-404 FLT-404W |
FLT-406 FLT-406W |
FLT-408 FLT-408W |
FLT-410 FLT-410W |
FLT-415 FLT-415W |
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온도 제어 |
-45℃～40℃ |
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온도 제어 정확도 |
±0.1℃ |
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흐름 제어 |
최대 10~25L/min 5bar |
최대 15~45L/min 6bar |
최대 25~75L/min 6bar |
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난방 |
콘덴서 프로스팅 기술을 방지하기 위해 컴프레서 가열을 사용합니다. |
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냉장 용량 @-35℃ |
1kw |
1.4kw |
1.8kw |
2.5kw |
3.3kw |
5kw |
8kw |
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내부 순환 체액 용량 |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
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확장 탱크 용량 |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
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냉매 |
R404A |
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2차 냉매 |
물, 실리콘 오일, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등이 있습니다. |
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인그레스 및 아웃그레스 인터페이스 |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G3/4 |
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냉각수 연결 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
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냉각수 흐름 @20℃ |
1.5m³/H |
2.4m³/H |
3.5m³/H |
5m³/H |
5.5m³/H |
6m³/H |
8m³/H |
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전원 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
7.5KW |
9KW |
12KW |
15KW |
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온도 확장 |
전기 히터를 추가하면 -25℃~80℃까지 확장할 수 있습니다. |
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Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
애플리케이션
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