LNEYA 공냉식 냉각기 또는 수냉식 냉각기
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구성 세부 정보
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모델 |
FLT-803W |
FLT-805W |
FLT-806W |
FLT-808W |
FLT-810W |
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온도 범위 |
-80℃～+80℃ |
||||
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온도 제어 정확도 |
±0.1℃ |
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흐름 제어 |
7~25L/min |
12~45L/min |
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|
유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 유량 센서의 피드백 신호에 따라 속도가 자동으로 조정됩니다. 순환 펌프의 최대 압력은 6bar입니다. |
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냉각 용량@-70℃ |
0.6KW |
1KW |
1.5KW |
2KW |
3KW |
|
난방 전력 |
2KW |
2KW |
2KW |
3.5KW |
3.5KW |
|
내부 순환 체액량 |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
|
확장 탱크 용량 |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
|
열 매체 |
불소화 액체 |
||||
|
인그레스 및 아웃그레스 인터페이스 |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
|
냉각수 인터페이스 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
G1 |
G1 |
|
냉각수 @20℃ |
1.8m3/h |
2.5m3/h |
3m3/h |
5m3/h |
6m3/h |
|
전원 공급 장치 |
380V 50HZ |
||||
|
차단기 |
25A |
25A |
32A |
40A |
50A |
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모델 |
FLT-1002W |
FLT-1004W |
|
온도 범위 |
-100℃～+80℃ |
-100℃～+80℃ |
|
온도 정확도 |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
|
흐름 제어 |
7~25L/min |
12~45L/min |
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|
유량 제어는 주파수 변환기에 의해 조정되며 유량 센서의 피드백 신호에 따라 속도가 자동으로 조정됩니다. 순환 펌프의 최대 압력은 6bar입니다. |
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냉각 용량@-90℃ |
1.5KW |
3KW |
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난방 전력 |
3.5KW |
5.5KW |
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내부 순환 체액 용량 |
5L |
8L |
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확장 탱크 용량 |
10L |
15L |
|
열 매체 |
불소화 액체 |
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인그레스 및 아웃그레스 인터페이스 |
G3/4 |
G3/4 |
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냉각수 인터페이스 |
G3/4 |
G1 |
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냉각수 @20℃ |
50L/min 2bar~7bar |
100L/min 2bar~7bar |
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전원 |
380V 50HZ |
380V 50HZ |
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차단기 |
32A |
63A |
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무게 |
700*800*1850 |
800*1200*1850 |
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
애플리케이션
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