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구성 세부 정보
모델 |
FLTZ-305W |
FLTZ-305W/2T 더블 시스템 |
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온도 범위 |
-30℃~40℃ |
-30℃~40℃ |
-30℃~40℃ |
온도 제어 정확도 |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
흐름 제어 |
15~45L/min ±0.3 |
15~45L/min ±0.3 |
15~45L/min ±0.3 |
펌프 압력 |
최대 6bar |
최대 6bar |
최대 6bar |
난방 |
2.5kw |
2.5kw |
2.5kw |
냉각 용량@15℃ |
11kw |
11kw |
11kw |
냉각 용량@-15℃ |
5KW 약4500RPM |
5KW 약4500RPM |
5KW 약4500RPM |
내부 순환 체액 용량 |
8L |
8L |
8L |
확장 탱크 용량 |
15L |
25L |
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열 매체 |
불소화액, 부동액, 부동액, 열 실리콘 오일 등 |
||
열 매체 인터페이스 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
냉각수 인터페이스 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
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냉각수 |
30L/min @20℃ |
60L/min @20℃ |
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전원 |
220V 50/60HZ |
220V 50/60HZ |
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차단기 |
40A |
80A |
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무게 |
450*700*1600 |
650*850*1600 |
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옵션 3.5kw 전기 난방, 온도를 90 ℃까지 확장 할 수 있으며 전원 공급 장치를 380V로 변경해야합니다. |
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
애플리케이션
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