산업용 온도 제어 솔루션
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Thermal Control Unit for Semiconductor Production

엘엔야는 연구 개발, 생산, 판매를 통합한 하이엔드 장비 제조 기업입니다. 주요 제품으로는 반도체 온도 제어 전문 장비, 제트 저온 충격 시험기, 반도체 공정 폐수 처리 장치 등이 있으며 반도체, LED, LCD, 태양광 발전 등의 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 높은 제품 정확도, 지능형 온도 제어, -150 ℃ ~ + 350 ℃의 넓은 온도 제어 범위로 대부분의 기업의 항온 제어 요구 사항에 적합합니다. 온도 제어 정확도는 ± 0.1 ℃에 도달 할 수 있으며 해당 제품은 0.5kW ~ 1200kW의 냉동 전력을 제공 할 수 있습니다.

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

모든 애플리케이션

Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process).

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제품 이점

  • 효율적인 생산 안정성 및 반복성 결과;
  • 판형 열교환기와 파이프라인 히터를 사용하여 냉각 및 난방 속도를 개선합니다;
  • 매우 넓은 온도 범위로 액체 매체를 교체할 필요가 없습니다;
  • 완전 밀폐형 시스템으로 열 전도성 액체의 수명을 연장합니다;
  • 마그네틱 드라이브 펌프를 채택하여 샤프트 씰 누수 문제가 없습니다;
  • 고온 냉각 기술, 압축기를 직접 시동하여 300℃에서 냉각합니다.

반도체 제조 냉각기 -40℃~100℃

가스 추출 압축기의 뜨거운 공기로 40°C 이내의 가열

냉각기 순환 시스템은 완전 밀폐형 설계를 채택하고 자기 구동 펌프를 사용합니다.

냉각기 100% 헬륨 테스트, 100% 안전 규정 준수 테스트를 통해 안전성과 신뢰성을 보장합니다.

24시간 후 복사기의 연속 작동을 위한 냉각기 100%

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이미 마지막 에피소드에 도달했습니다!

가스 냉각 냉각기

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이미 마지막 에피소드에 도달했습니다!

온도 제어 범위: -110 ℃ ~ -40 ℃

풍량 범위: 15m³/ H~100m³/ H

건조 압축 공기, 질소 가스, 아르곤 가스 등과 같은 재료의 부식을 식히고 상온에서 LQ 시리즈 장비에 도입하기 위한 노력을 기울여야 합니다. 결과물은 표준 저온에 도달하여 수요 테스트를 위해 부품 또는 열교환기에 공급될 수 있습니다.

공기 순환 냉각 냉각기

  • 순환 공기 냉각기 AI -85℃~125℃" /&gt;<figcaption><span>Product data downloadProductDescriptionYou may also be interested in these products * 1. Widely used in high and low temperature testing of semiconductor equipment.Cold and heat source of electronic equipment at …</span></figcaption></figure></a></div><div class= 순환 공기 냉각기 AI -85℃~125℃

    Product data downloadProductDescriptionYou may also be interested in these products * 1. Widely used in high and low temperature testing of semiconductor equipment.Cold and heat source of electronic equipment at …

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애플리케이션:

온도 제어 범위: -105℃ ~ +125℃

반도체 장비의 저온 테스트에 사용됩니다. 전기 장비 - 냉온 및 열원의 온도, 저온, 항온 테스트; 고유한 냉동 사이클 장치.

기능:

장시간 연속 작동 가능, 자동 해동, 해동 과정은 보관 온도에 영향을 미치지 않음; 모듈 식 설계, 백업 장치 교체 용이 (백업 장치 하나만 필요)

증발 시스템의 잦은 온-오프 및 성에 형성 문제 해결; 증발 시스템의 해동 과정은 영향을 미치지 않습니다.

온도 강제 시스템

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애플리케이션:

제트식 고온 및 저온 충격 시험기는 칩, 모듈, 집적 회로 기판, 전자 부품 등에 대해 정확하고 빠른 환경 온도를 제공합니다. 제품의 전기적 성능 테스트, 고장 분석 및 신뢰성 평가에 없어서는 안 될 필수적인 기기 및 장비입니다.

온도 제어 범위: -120 ℃ ~ +300 ℃, 매우 빠른 온도 상승 및 하강 속도, 150 ℃ ~ -55 ℃ <10 초, 최대 유량: 30m ³/ H

기능:

테스트 된 IC의 실제 온도 실시간 모니터링, 폐쇄 루프 피드백 달성, 본체의 온도 상승 및 하강 시간 실시간 조정, 프로그래밍 가능 작동, 수동 작동 및 원격 제어.

테스트 조건: 주변 온도 20℃, 30m³/h. 5bar, 압축 공기 또는 질소는 100m³/h 체적 유량 급속 충격 테스트 기계에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 최대 유속에서 테스트 전력 요구 사항에 적합합니다.

데이터 센터 서버 냉각 냉각기

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애플리케이션:

수냉식 서버 지원 인프라의 전체 체인 레이아웃은 서버 랙 내부의 냉각판에 냉각액을 공급하기 위해 수냉식 CDU 분배 장치에 의해 제공됩니다. 액체 냉각판 열교환의 최대 활용은 서버 내부의 주요 열원을 냉각하여 냉각 시스템의 사용을 줄이고, 서버가 개별 캐비닛에 대해 더 높은 전력 냉각 요구 사항과 더 높은 계산 밀도를 달성하도록 지원하여 PUE를 더욱 줄이고 "탄소 피크"와 "탄소 중립성"을 달성하는 비전 아래 친환경적이고 고품질의 데이터 개발을 촉진하는 것을 목표로합니다.

기능:

냉각판 타입 15kW

캐비닛 유형 300kW

가변 주파수 펌프는 순환 유압 및 유량을 조절할 수 있습니다.

Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기

주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.

Heating function

Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.

Communication function

Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

7 * 24 무료 상담 및 종합 솔루션 제공

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Control Temperature Control Flow Systems（Vehicle/Battery Pack Test)

온도 제어: -40℃~100℃

온도 시뮬레이션 배터리 수명 테스트, 연료 인젝터/모터 테스트 벤치, 에어백 테스트, 부품 테스트 벤치 등 차량 품질 테스트에 사용됩니다. 기후 챔버의 외부 환경 조건을 시뮬레이션하거나 내부 시스템을 대체하여 테스트 벤치에 필요한 실제 온도 조건을 만들 수 있습니다.

냉각 난방 시스템(반도체 생산)

온도 제어: -85℃~250℃

Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)

Accept Customized Outdoor Chiller and Indoor Chiller

Outdoor Chiller

Indoor Chiller

WhatsApp: 086 13912479193 이메일: sales@cnzlj.com