냉각 냉각기

제품의 수율을 높이고 수익성을 보장하기 위해서는 반도체 산업의 모든 단계에서 품질 관리가 이루어져야 합니다. 제품 품질에 영향을 미치는 중요한 요소 중 하나는 온도이며, 안정적이고 신뢰할 수 있는 제품을 보장하기 위해서는 온도 안정성과 정확성이 매우 중요합니다. 프론트엔드에서 백엔드까지 전반적인 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰할 수 있도록 보장합니다.

주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.

산화, 접착제 코팅, 포토리소그래피, 현상, 에칭, 이온 주입, 접착제 제거, 필름 증착, CMP, 세정 등 공정 공정에 사용할 수 있습니다.

Top dielectric etching dual channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Polycrystalline silicon etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Edge etching single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Photoresist etching back dual channel chiller
Polycrystalline silicon etching dual channel chiller
Shallow trench isolation trench etching dual channel chiller
Top layer dielectric etching (cathode) single channel chiller
Top layer dielectric etching (chamber wall) single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Contact hole etching dual channel chiller