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물순환 냉각

직냉식 칠러 온도 제어 유닛

온도 범위 -80℃~20℃

ZLTZ 시리즈는 반도체, 데이터 센터, 신재생 에너지 등 효율적이고 컴팩트하며 신뢰성과 정밀한 열 방출이 요구되는 산업에 적합하며, 특히 전력 밀도가 높고 공간이 제한되며 온도 민감성이 있는 분야에서 적합합니다.

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Circulation Chiller ZLTZ (Image 1)

ZLTZ 시리즈

-80°C

최저

20°C

최고

모든 장비의 정격 시험 조건: 건구 온도 20°C, 습구 온도 16°C. 입수 온도 20°C, 출수 온도 25°C.

모델		ZLTZ-3 ZLTZ-3W	ZLTZ-6 ZLTZ-6W	ZLTZ-10 ZLTZ-10W	ZLTZ-15W
온도 범위		-10℃ ~25℃
냉각 용량	0℃	8.1kW	16.25kW	28.5kW	40.2kW
냉각 용량	-10℃	5.48kW	11kW	19.35kW	26.6kW
인터페이스 크기	출구	φ12	φ12	φ28	φ28
인터페이스 크기	입구	φ20	φ20	φ35	φ35
수냉식	25℃	2m3/h	4m3/h	6.2m3/h	10m3/h
냉각수 인터페이스		G3/4	G3/4	G1	G1 1/4

모델		ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W	ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W	ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W	ZLTZ4-15W
온도 범위		-40℃ ~20℃
냉각 용량	-10℃	5.2kW	11.15kW	18.4kW	26.3kW
	-20℃	3.47kW	7.41kW	12.3kW	18.35kW
	-30℃	2.24kW	4.81kW	7.92kW	11.8kW
	-40℃	1.36kW	2.95kW	4.7kW	5.83kW
인터페이스 크기	출구	φ12	φ12	φ16	φ22
인터페이스 크기	입구	φ22	φ22	φ35	φ35
수냉식	25℃	2m3/h	4.2m3/h	5.3m3/h	6.2m3/h
냉각수 인터페이스		G3/4	G3/4	G3/4	G1

모델		ZLTZ8-3 ZLTZ8-3W	ZLTZ8-6 ZLTZ8-6W	ZLTZ8-10 ZLTZ8-10W	ZLTZ8-15W
온도 범위		-80℃~ -30℃
냉각 용량	-30℃
	-40℃	6.9kW	14.8kW	24.4kW	36.7kW
	-60℃	3.3kW	7.1kW	12kW	17.4kW
	-75℃	1.65kW	3.55kW	6kW	8.7kW
인터페이스 크기	출구	φ12	φ12	φ16	φ22
인터페이스 크기	입구	φ22	φ22	φ35	φ35
수냉식	25℃	2.7m3/h	5.3m3/h	6.68m3/h	9.3m3/h
냉각수 인터페이스		G3/4	G3/4	G1	G1 1/4

새로운 물순환 냉각기는 2차 열교환 과정이 없습니다. 기존 액체 냉각 장비와 비교하여 2차 열교환으로 인한 열전달 손실을 줄이고 에너지 효율을 30% 이상 향상시킵니다.

새로운 직냉식 냉각기는 순수한 액체 열교환 매체를 제공합니다. 기존 물순환 냉각기의 기액 2상 혼합 열교환 매체와 비교할 때, 냉매의 잠열을 충분히 활용하여 열교환 밀도를 크게 향상시키고 필요한 열교환 면적을 줄일 수 있습니다. 이를 통해 반도체 등 고전력 밀도 산업의 요구를 충족할 수 있습니다.

ZLTZ 시리즈 물순환 냉각기는 다중 방식의 유체 공급 기능을 갖추고 있으며, 각 분기별 냉각 용량을 정밀하게 제어하여 각 분기의 온도 제어 요구를 충족할 수 있습니다.

신형 직냉식 장비는 PT100 고정밀 온도 센서와 PID 지능형 제어 시스템을 적용하여 온도 오차 범위가 매우 작고, 정밀하고 신뢰성 높은 온도 제어를 실현합니다.

특징 1

하나의 ZLTZ 물순환 냉각기로 여러 개의 ESC 척을 연결하여 서로 다른 온도를 제어할 수 있습니다.

특징 2

높은 열흡수와 높은 온도 균일도가 요구되는 온도 제어 응용 분야에 적용됩니다. 동일한 유량 조건에서 열전달 및 온도 제어 효율은 열매유 대비 5배 이상 높습니다.

특징 3

척이 200℃ 정온으로 설정된 경우, 냉동 시스템은 냉기를 공급하며 장비는 장시간 안정적으로 정상 운전이 가능합니다. 냉각 플레이트를 교체할 때 냉매는 자동으로 회수될 수 있습니다.

높은 열전달 능력

높은 열부하 온도 제어 응용 분야에 이상적이며, 동일한 유량 조건에서 열매유 열교환 대비 5배 이상의 열전달 효율을 제공합니다. 또한 입·출구 온도 차이가 매우 작고 온도 분포가 매우 균일하여 대규모 열교환 및 정밀 온도 제어에 특히 적합합니다.

콜드 플레이트 / 히트 싱크 플레이트

높은 열흡수 및 초고균일 온도 제어 응용을 위해 설계되었으며, 콜드 플레이트 교체 시 냉매가 자동으로 회수됩니다.

Circulation Chiller ZLTZ (Image 2)

ESC 척 (정전 척)

하나의 ZLTZ 온도 제어 유닛으로 여러 개의 ESC 척을 서로 독립된 온도로 구동할 수 있습니다.

고온 냉각 용량

척을 200°C 정온으로 유지할 때, 냉동 시스템은 지속적인 냉각 용량을 제공하여 장비가 장시간 안정적으로 운전되도록 보장합니다.

모든 직냉식 칠러 모델

Circulation Chiller ZLTZ (Image 3)

KDS -75℃~200℃

열 프로브

냉각 용량 -40℃@600W

온도 정확도 ±0.2℃

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Circulation Chiller ZLTZ (Image 4)

ZLJ & SLJ -150℃～-110℃

극저온 칠러

냉각 용량 0.4kW~11kW

온도 정확도 ±1℃

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THERMAL CHUCK

MD -75℃～225℃

온도 제어 척（히팅/쿨링）

가열 및 냉각 -60°C → +25°C: 2분, +25°C → -60°C: 6분

온도 정확도 ±0.5℃

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Circulation Chiller ZLTZ (Image 6)

글로벌 서비스

3만 개 이상의 고객사에 서비스를 제공하고 있습니다.
20개 이상의 국가로 수출하고 있습니다.

Circulation Chiller ZLTZ (Image 7)

인증 및 특허

CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.

Circulation Chiller ZLTZ (Image 8)

애프터서비스

포괄적인 기술 교육을 제공합니다.
24시간 연중무휴 솔루션을 제공합니다.

Circulation Chiller ZLTZ (Image 9)

전문 팀

2010년에 설립되어 15년의 업계 경험을 보유하고 있습니다.
직원 중 20%는 기술 인력입니다.

Circulation Chiller ZLTZ (Image 10)

품질 관리

외관 검사
성능 테스트
전기 안전 테스트

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