LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd
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온도 제어 가스가 로봇 암을 통해 에어플로 후드로 공급되어 반도체 및 전자 부품에 직접 고온·저온 충격 테스트를 수행합니다.
< 10 s
150°C에서 -55°C까지
최대 15°C/min
빠른 가열
±0.1°C
정밀 온도 제어
-120°C to +225°C
넓은 온도 범위
최대 100 m³/h
높은 풍량
LNEYA 강제 온도 제어 시스템은 가스를 열전달 매체로 사용하여 시험 대상 장치(DUT)에 직접 제어된 가열 및 냉각을 제공합니다. 압축 공기는 압력 조절기와 내장형 드라이어를 통과한 후 열교환기로 유입되며, 이곳에서 냉매를 이용한 냉각 또는 가열을 통해 가스 온도가 조절됩니다. 온도가 조절된 가스는 로봇 캔틸레버 암을 따라 배치된 배관을 통해 목표 영역으로 공급되며, DUT 또는 출구 가스의 피드백을 바탕으로 온도를 제어합니다.
이 시스템은 자동 로봇 위치 제어 기능을 갖추고 있으며, 국부 온도 테스트를 위한 에어플로 후드를 옵션으로 제공합니다. 반도체 칩, 광 트랜시버, IC, MLCC, 웨이퍼 테스트 장치, 자동차 전장 부품 및 전력 소자의 고온·저온 충격 테스트, 온도 사이클 테스트, 성능 특성 평가와 신뢰성 테스트 및 고장 분석에 적합합니다.
| 장비 모델 | AES-8035 |
| 온도 범위 | -80℃ ~ 225℃ (조절 가능) |
| 가열 출력 | 3 kW |
| 공랭 냉각 용량 | ≤500 LPM (30 m³/h) |
| 공급 공기 요구사항 | 온도: 35℃ 미만, 압력: 0.5~1 MPa, 노점 온도: 10℃ 미만, 고체 입자 크기: 0.1 µm 미만, 최대 오일 함량: 0.01 mg/m³ |
| 연결구 규격 | 공기 유입구 PT1/2 |
| 온도 모니터링 | 출구 가스 온도: T형 열전대 |
| 시험 대상물 온도: T형 열전대, K형 열전대 | |
| 가스 유량 모니터링 | 가스 유량 센서 |
| 디스플레이 | 출구 가스 온도 표시, 시험 대상물 온도 표시, 공급 가스 유량 표시 |
| 조작 패널 | 지능형 인간-기계 인터페이스(HMI) |
| 제어 방식 | PLC 제어 방식을 채택하며, 다단계 프로그램 사전 설정 제어 모드를 지원합니다. |
| 고온 냉각 | 225℃의 고온 상태에서 직접 냉각 기술을 적용하여 고온 운전 중 신속한 냉각 요구사항을 충족합니다. |
| 전원 사양 | 최대 6 kW, 220V, 50Hz/60Hz |
| 디스플레이 기능 | 성능 파라미터 테스트 및 표시: (1) 노즐 및 시험 대상물 온도 표시 (디스플레이 화면) (2) 공급 가스 유량 표시 (가스 유량계) 운전 상태 표시: (1) 전원 ON/OFF 상태 (2) 장비 작동 상태 (3) 알람 값 표시 및 기록, 부저 알람 안내 |
| 항목 | 사양 |
| 모델 | AESR-8035AESR-8035C |
| 설정 온도 범위 (℃) | -80 ~ +225℃ |
| 온도 안정도 (℃) | ±0.1 (출구 온도 정상 상태 기준) |
| 냉각 방식 | 공랭식 |
| 온도 제어 방식 | 출구 가스 온도 (T형 열전대)/ 시험 대상물 온도 (T형, K형 열전대) |
| 사용 냉매 | R744 / R508B |
| 주변 온도 (℃) | 20～30 |
| 주변 습도 (%RH) | 30～70 |
| 설치 고도 (m) | 3,000 m 이하 |
| 가스 종류 | 압축 공기 |
| 공기 유입 요구사항 | 공급 공기 온도: 35℃ 미만, 압력: 0.5~1 MPa, 노점 온도: 10℃ 미만고체 입자 크기: 0.1 µm 미만, 최대 오일 함량: 0.01 mg/m³ |
| 가열 용량 (W) | 3000 |
| 최대 가스 처리 유량 | 30 m³/h |
| 압력 범위 | 0.6~0.8 MPa |
| 열교환기 유형 | 판형 열교환기 |
| 연결구 규격 (입구) | Rc1/2 |
| 연결구 규격 (출구) | Rc3/8 |
| 전압 (V) | 1상 220V ±10%, 50Hz ±5Hz |
| 고온 보호 | 온도 센서 |
| 고압 보호 | 압력 센서 |
| 압축기 과부하 보호 | 회로 차단기 |
| 유량 보호 | 유량계 |
| 누전 보호 | 누전 차단기 |
| 외형 치수 (mm) | 510W × 780D × 1100H (mm) |
| 중량 (kg) | 260 |
| 장비 소음 (dB(A)) | 70 |
공정 온도, 적용 분야 및 온도 제어 요구사항을 알려주시면 담당 팀이 적합한 모델과 시스템 구성을 안내해 드립니다.
가스 온도를 150°C에서 -55°C까지 10초 이내에 낮출 수 있어 온도 전환을 위해 시스템을 중단하지 않고 고온에서 저온으로 빠르게 테스트할 수 있습니다.
AES는 DUT 온도 제어와 출구 가스 온도 제어를 모두 지원합니다. DUT 온도 제어 모드에서는 열전대가 장치 온도를 실시간으로 측정하고, 제어 시스템이 센서 피드백에 따라 출구 가스 온도를 조절합니다. 이를 통해 엔지니어는 테스트 중 칩과 전자 부품의 실제 온도를 제어할 수 있습니다.
로봇 캔틸레버 암이 가스 공급 라인을 목표 테스트 지점에 배치하며, 5가지 크기의 에어플로 후드를 옵션으로 제공하여 다양한 DUT 크기와 테스트 구성에 대응합니다.
압축 공기는 압력 조절기와 내장형 드라이어를 통과한 후 열교환기로 유입되며, 이곳에서 냉매 회로가 가스를 목표 온도까지 냉각하거나 가열합니다. 내장형 드라이어는 가스의 노점을 -70°C 미만으로 낮춥니다. -60°C 미만의 온도에서 장시간 테스트를 진행하고 공급되는 압축 공기의 건조도가 요구 조건을 충족하지 못하는 경우 외장형 DR 시리즈 드라이어를 권장합니다. 이를 통해 출구에 얼음이 쌓여 가스 흐름이 제한되거나 테스트가 중단되는 것을 방지할 수 있습니다.
PLC는 사전 설정된 목표 온도 또는 10분 이내에 지정 온도에 도달하는 것과 같은 설정된 승온·냉각 속도를 적용한 다단계 온도 프로그램을 지원합니다. 엔지니어는 칩 특성 평가, 온도 사이클 테스트 및 반복적인 부품 테스트를 위한 온도 시퀀스를 자동화할 수 있으며, 수동 모드에서는 고정 온도로 연속 출력을 유지할 수 있습니다. 원격 PC 제어도 지원합니다.
AES 강제 온도 제어 시스템은 가열 또는 냉각된 가스를 칩, 광 모듈, IC 및 기타 전자 부품에 직접 공급하여 온도에 따른 성능 테스트를 수행합니다. 엔지니어는 다양한 온도 조건에서 전기적 및 광학적 성능을 평가하고, 온도 관련 고장 원인을 분석하며, 열 스트레스 환경에서 장치의 신뢰성을 검증할 수 있습니다.
칩 특성 평가, 온도 테스트 및 고장 분석
MLCC 온도 선별 테스트 및 전기적 특성 검증
광학 성능 및 비트 오류율 테스트
웨이퍼 및 프로브 스테이션 온도 테스트
ECU, 센서 및 전력 모듈 테스트
저온 취성 및 TR 테스트
LNEYA는 강제 온도 제어 시스템을 자체 개발 및 제조하며, 특정 온도 범위, 시험 대상 장치(DUT) 요구사항 및 테스트 조건에 맞춰 시스템 구성을 맞춤 제작합니다.
냉각 기능만 제공하며, 냉각된 가스를 순환시키지 않고 대상에 직접 공급합니다.
가스 유량 15m³/h~100m³/h
차단기 10A~25A
최저 온도 -40℃/-75℃/-110℃
로봇 암 없이 고정 설치 방식으로 냉각과 가열 기능을 모두 제공합니다.
온도 범위 가스 출구 ±0.1℃, 원격 측정 ±0.5℃
공기 처리 유량 22m³/h~95m³/h
가열 및 냉각 시간 ＜10초
폐쇄형 가스 회로를 통해 가스를 순환시켜 재사용하며, 냉각과 가열 기능을 모두 제공합니다.
가열 용량 3.5KW
냉각 용량 1KW~3.5KW
온도 정밀도 ±0.05℃
압축 가스의 수분을 제거하여 저온 테스트 중 얼음이 쌓이는 현상을 방지하는 데 도움을 줍니다.
압력 범위 0.65～1.0Mpa
노점 온도 -70℃
가스 처리 용량 425L/Min~1750L/Min
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