반도체 칠러 온도 조절

반도체 칠러 개요

반도체 산업은 극도로 정밀한 온도 제어를 요구합니다. 수많은 제조 및 테스트 공정은 아주 미세한 온도 변화에도 매우 민감하게 반응합니다. 제품의 성능과 수율은 안정적이고 고정밀의 냉각 시스템에 달려 있습니다.
 
LNEYA는 반도체 응용 분야를 위한 첨단 칠러(Chiller)의 선도적인 제조 기업입니다. 2010년부터 당사는 웨이퍼 공정, 패키징 및 테스트 라인을 위한 신뢰성 높은 온도 제어 장비를 공급해 왔습니다. 당사의 제품 라인업은 정밀하고 재현성 있는 성능을 발휘하도록 설계된 표준형 및 맞춤형 칠러를 모두 포함하고 있습니다.
 
특수 공정의 경우, 온도 범위, 용량 및 제어 인터페이스에 대한 귀하의 요구 사항에 맞춰 냉각 솔루션을 맞춤형으로 제공해 드릴 수 있습니다.
 
제품 카탈로그를 요청하시거나 반도체 냉각 시스템 견적을 받아보시려면 저희 엔지니어링 팀으로 문의해 주십시오.

LNEYA® 반도체 칠러의 특징

• 고효율, 안정적인 생산, 재현 가능한 결과
• 판형 열교환기와 파이프 히터를 사용하여 냉각 및 가열 속도를 향상시키십시오.
• 극히 넓은 온도 범위(-150℃ ~ +350℃)를 지원하며, 액체 매체를 교체할 필요가 없습니다.
• 열매체의 수명을 연장하는 완전 밀폐형 시스템
• 마그네틱 구동 펌프를 사용하여 축 밀봉(Shaft Seal) 누유 문제가 없습니다.
• 고온 냉각 기술, 300℃ 직접 시동 압축기 냉각

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전화：

+86 189 1425 3067

이메일：

sales@lneya.com

반도체 칠러 응용 분야

반도체 제조 공정에는 안정적이고 정밀한 냉각 시스템이 필수적입니다. 신뢰할 수 있는 반도체용 칠러는 웨이퍼 가공, 에칭 및 테스트 과정에서 온도를 정밀하게 제어하는 ​​데 기여합니다. LNEYA는 높은 온도 정밀도, 폭넓은 운전 범위, 그리고 장기적으로 변함없는 안정성을 갖춘 반도체용 칠러를 설계합니다.
 
반도체 제조 공정에는 극도로 안정적인 환경 조건이 요구됩니다. 아주 미세한 온도 변화조차도 제품 수율 및 소자의 신뢰성에 영향을 미칠 수 있습니다. 반도체용 칠러는 웨이퍼 패키징, 테스트, 제조 등 핵심 공정 단계에서 정밀한 온도 제어 기능을 제공합니다.
 
이 냉각기들은 반도체 제조 공장 및 계측 시스템의 공정 냉각 용도로 널리 사용됩니다. 이 장비들은 CMOS 및 CCD 센서의 안정화를 돕고, AOI 검사 시스템의 온도를 유지하며, 플라즈마 식각이나 박막 증착 공정 중 챔버 벽에 대한 독립적인 냉각 기능을 제공합니다.
 
금속 텅스텐의 열 원자층 식각(ALE)과 같은 응용 분야에서는 일관된 냉각을 통해 재현성 있는 결과와 장비 수명 연장을 보장할 수 있습니다.