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정밀 공조기

반도체 제조 공간, 클린룸 및 실험실에 정밀한 온도 및 습도 제어를 제공하도록 설계되었습니다.

21–25°C

온도 제어 범위

±0.1°C

온도 제어 정밀도

45–60%RH

습도 제어 범위

±1%RH

습도 제어 정밀도

10,000 m³/h

최대 풍량

정밀 공조기 Precision air conditioner(images 1)

정밀 공조기는 냉각, 가열, 가습, 제습 및 여과 기능을 통해 실내 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 특수 공조 시스템입니다. 공기 상태의 작은 변화도 민감한 공정, 제품 또는 장비에 영향을 줄 수 있는 환경에 적합합니다. 주요 적용 분야로는 반도체 클린룸, 제약 생산 구역, 전자제품 제조 시설 및 연구 실험실이 있습니다.

LNEYA는 다양한 풍량과 용량 옵션을 갖춘 표준 정밀 공조기를 제공하며, 특정 실내 환경 조건, 열부하 및 급기 요구사항에 맞춘 맞춤형 시스템도 제공합니다.

정밀 공조기 모델 살펴보기

온도 및 습도 제어 성능, 풍량 및 용량을 기준으로 표준 모델을 비교하여 설치 공간에 적합한 구성을 선택하세요.

LW 시리즈 정밀 공조기

LW 시리즈

온도 제어
대풍량
  • 온도 범위21–24°C
  • 온도 안정도±0.1°C
  • 습도 범위N/A
  • 습도 제어 정밀도N/A
  • 정격 풍량1,000–10,000 m³/h
  • 최대 외부 급기 정압0–300 Pa
  • 최대 냉각 용량2–17 kW
LW 시리즈 정밀 공조기

LWX 시리즈

온도 및 습도 제어
대풍량
  • 온도 범위21–24°C
  • 온도 안정도±0.1°C
  • 습도 범위45–60%RH
  • 습도 제어 정밀도±1%RH
  • 정격 풍량1,000–10,000 m³/h
  • 최대 외부 급기 정압0–300 Pa
  • 최대 냉각 용량3–23 kW
정밀 공조기 Precision air conditioner(images 2)

LMW/LMWX 시리즈

온도 및 습도 제어
컴팩트 설계
  • 온도 범위21–25°C
  • 온도 안정도±0.1°C
  • 습도 범위45–60%RH*
  • 습도 제어 정밀도±1%RH*
  • 정격 풍량0.7–4.0 m³/min
  • 최대 외부 급기 정압110–160 Pa
  • 최대 냉각 용량0.2–1.3 kW

*일부 모델에서 습도 제어 기능을 지원합니다.

표준 정밀 공조기 기술 사양

항목단위LW-0010-BWLW-0030-BWLW-0050-BWLW-0070-BWLW-0090-BWLW-0100-BW
정격 처리 풍량m³/h1000300050007000900010000
적용 가능한 최대 장비 챔버 용적m³5~1020~3040~5060~7080~9090~100
설정 가능 온도 범위℃21~24℃
온도 제어 정밀도℃±0.1℃ (±0.01℃ 온도 제어 정밀도 장비 주문 제작 가능)
최대 냉각 용량kW2 kW / @25℃5 kW / @25℃9 kW / @25℃12 kW / @25℃15 kW / @25℃17 kW / @25℃
장비 외부 공급 공기 최대 정압Pa0~2000~2500~300
작동 주변 온도 및 습도 범위℃/%RH23±2℃ / 40%RH~60%RH
급기 출구 연결구 직경mmφ200φ300φ400φ450φ500
장비 배수구 규격/Rc1/2
냉각수 온도 ⑥℃18~22
냉각수 연결구 규격Rc1/2Rc3/4Rc1
전원 사양V/Hz3상 380V ±10%, 50Hz ±5Hz, 3상 5선식
장비 정격 입력 전력kW122.5344
장비 소음dB(A)≤75≤80
장비 최대 입력 전력kVA24681010
냉매 / 충전량kgR410A / 1.5R410A / 2R410A / 2.5R410A / 3R410A / 4R410A / 4
안전 보호 기능전원 과전압 및 저전압 보호, 역상 및 결상 보호, 모터 과열 및 과부하 보호, 압축기 토출 온도 초과 보호, 시스템 고압 보호, 시스템 저압 보호, 온도 모듈 고장 보호, 설정 가능한 과온 보호, 팬 모터 과열 보호 등

*비고:
1. 온도 및 습도 제어는 서로 다른 설정 온도에서 적용할 수 있으며, 설정된 온도와 습도를 일정하게 유지하면서 장비를 연속 운전할 수도 있습니다.
2. 실제 요구사항에 따라 일정량의 외기를 공급하도록 장비를 구성할 수 있으며, HVAC 외기 공급 요구사항을 충족합니다. 가습 용량은 최대 외기량에 맞춰 설정됩니다.
3. 정밀 항온항습기는 외기 및 환기의 온도와 습도 범위를 기준으로 운전합니다.
4. 외부 정압은 최대 정격 공정 풍량에서 급기 출구를 기준으로 측정합니다. 말단에 FFU를 설치하는지 여부에 따라 조정할 수도 있습니다.
5. 물 경도: 40 °fH 이하(CaCO₃ 기준 400 mg/L에 해당).
6. 냉각수 수질은 「공업용 순환 냉각수 처리 설계 규범」(GB 50050-95)을 준수해야 합니다.
7. 급기 덕트는 단열 처리해야 합니다. 현장 설치 시 배관 길이를 가능한 한 짧게 유지해야 합니다. 자세한 내용은 사용 설명서를 참조하세요.

항목단위LWX-0010-BWLWX-0030-BWLWX-0050-BWLWX-0070-BWLWX-0090-BWLWX-0100-BW
정격 처리 풍량m³/h1000300050007000900010000
적용 가능한 최대 장비 챔버 용적m³5~1020~3040~5060~7080~9090~100
설정 가능 온도 및 습도 범위℃/%RH22~24℃ /45%RH~60%RH
온도 제어 정밀도℃±0.1℃ (±0.01℃ 온도 제어 정밀도 장비 주문 제작 가능)
습도 제어 정밀도%RH±1 %RH
최대 냉각 용량kW3 kW / @25℃7 kW / @25℃12 kW / @25℃16 kW / @25℃21 kW / @25℃23 kW / @25℃
최대 가습 용량kg/h25681010
장비 외부 공급 공기 최대 정압Pa0~2000~2500~300
작동 주변 온도 및 습도 범위℃/%RH23±2℃ / 40%RH~60%RH
급기 출구 연결구 직경mmφ200φ300φ400φ450φ500
가습수 공급 연결구/Rc3/4
장비 배수구 규격/Rc1/2
가습수 공급 온도 범위℃10~40
가습수 공급 압력bar1~4
가습수 수질 요구사항/전기전도도: 75~1250 µS/cm / 물의 경도: 40°f 이하 / 유기 화합물 불포함
냉각수 온도℃18~22
냉각수 연결구 규격/Rc1/2Rc3/4Rc1
전원 사양V/Hz3상 380V ±10%, 50Hz ±5Hz, 3상 5선식
장비 정격 입력 전력kW12.533.54.54.5
장비 소음dB(A)≤75≤80
장비 최대 입력 전력kVA2.568101212
냉매 / 충전량kgR410A / 1.5R410A / 2R410A / 2.5R410A / 3R410A / 4R410A / 4
안전 보호 기능전원 과전압 및 저전압 보호, 역상 및 결상 보호, 모터 과열 및 과부하 보호, 압축기 토출 온도 초과 보호, 시스템 고압 보호, 시스템 저압 보호, 온도 모듈 고장 보호, 설정 가능한 과온 보호, 팬 모터 과열 보호 등

*비고:
1. 온도 및 습도 제어는 서로 다른 설정 온도에서 적용할 수 있으며, 설정된 온도와 습도를 일정하게 유지하면서 장비를 연속 운전할 수도 있습니다.
2. 실제 요구사항에 따라 일정량의 외기를 공급하도록 장비를 구성하여 HVAC 외기 공급 요구사항을 충족할 수 있습니다. 가습 용량은 최대 외기량에 맞춰 설정됩니다.
3. 정밀 항온항습기는 외기 및 환기의 온도와 습도 범위를 기준으로 운전합니다.
4. 외부 정압은 최대 정격 공정 풍량에서 급기 출구를 기준으로 측정합니다. 말단에 FFU를 설치하는지 여부에 따라 조정할 수도 있습니다.
5. 40°f는 CaCO₃ 기준 400 ppm에 해당합니다.
6. 냉각수 수질은 「공업용 순환 냉각수 처리 설계 규범」(GB 50050-95)을 준수해야 합니다.
7. 급기 덕트는 단열 처리해야 합니다. 현장 설치 시 배관 길이를 가능한 한 짧게 유지해야 합니다. 자세한 내용은 사용 설명서를 참조하세요.

제품 모델LMW-01BSLMWX-01BSLMW-03BTLMWX-03BT
정격 처리 풍량m³/min0.7~1.02.0~4.0
설정 가능 온도 및 습도 범위℃ / %RH21~2521~25; 45%RH~60%RH21~2521~25; 45%RH~60%RH
온도 제어 정밀도℃ / %RH±0.1℃ (±0.01℃ 온도 제어 정밀도 장비 주문 제작 가능)
습도 제어 정밀도%RH/±1%RH/±1%RH
최대 냉각 용량 (50/60Hz)kW0.2/0.250.37/0.451.31.3
재열 용량 (50/60Hz)kW0.1/0.130.40.50.7
최대 가습 용량kg/h/0.8/2.3
가습수 공급 온도 범위℃/10~40/10~40
가습수 공급 연결구//Rc1/2/Rc1/2
가습수 공급 압력bar/0.3~2/0.3~2
수질 요구사항//전기전도도: 125~1250 µS/cm물의 경도: 40°f 이하유기 화합물 불포함/전기전도도: 125~1250 µS/cm물의 경도: 40°f 이하유기 화합물 불포함
장비 외부 공급 공기 최대 정압Pa120/130120/160110/150110/150
급기 출구 연결구 직경mmφ75φ100φ100φ100
장비 작동 주변 온도℃ / %RH20~25℃; 45%RH~60%RH
작동 주변 온도 및 습도 허용 오차℃ / %RH±1℃; ±5%RH
전원 사양V/Hz단상 220V ±10%; 50/60Hz ±5Hz3상 380V ±15%; 50Hz ±5Hz
장비 정격 입력 전력kW0.32/0.341.2/1.20.752.7
장비 최대 작동 전류A1.7/1.826.4/6.41.354.8
장비 소음 (50/60Hz)dB(A)54/5658/606566
장비 최대 입력 전력kVA0.34/0.381.5/1.51.44
냉매 / 충전량kgR134A / 0.13R410A / 0.3R410A / 0.4R410A / 0.48
장비 외형 치수 (L×W×H)mm500×412×346630×390×765590×480×1070680×520×1350

*비고:
1. 지정된 온도 및 습도 제어 범위가 실제 제어 가능한 범위와 반드시 일치하는 것은 아닙니다. 실제 제어 가능 범위는 유입 공기의 온도, 습도 및 공정 풍량에 따라 달라집니다. 공정 풍량은 실제 운전 환경에 맞춰 설정해야 합니다.
2. M01/M02 시리즈의 경우 유입 공기의 온도와 습도가 안정된 상태에서 컨트롤러에 표시되는 정밀도 값은 최대 정격 풍량으로 운전할 때 공기 출구의 단일 측정 지점에만 적용됩니다.
3. M03 시리즈는 정격 공정 풍량(3 m³/min)으로 운전할 때 압축기 오일 회수로 인해 가동 후 약 2분 동안 온도가 일시적으로 변동할 수 있습니다. 또한 목표 습도가 높은 경우 가습수 공급 시점에 따라 지정된 정밀도를 유지하지 못할 수 있습니다. 급수 매개변수를 조정하면 이러한 변동을 줄일 수 있습니다.
4. 외부 정압은 최대 정격 공정 풍량으로 운전할 때 급기 팬 토출 측의 급기 출구에서 측정합니다.
5. 전압 강하를 방지하기 위해 장비를 전용 전원 콘센트에 연결해야 합니다. 3상 전원의 상전압 불평형률은 ±3% 미만이어야 합니다.
6. 지정된 값은 해당 범위 내에서 장비가 최대 운전 전류로 작동할 때 적용됩니다.
7. 냉각수 수질은 「공업용 순환 냉각수 처리 설계 규범」(GB 50050-95)의 요구사항을 충족해야 합니다.
8. 물 경도 40 °f는 CaCO₃ 기준 400 mg/L에 해당합니다.
9. 전체 높이에는 공기 출구가 포함됩니다. 표시된 치수는 지정된 최대 가습 용량으로 운전할 때 적용됩니다. 자세한 내용은 사용 설명서를 참조하세요.
*설치 참고사항:
급기 덕트는 단열 처리해야 합니다. 현장 설치 시 덕트 길이를 가능한 한 짧게 유지해야 하며, 3 m를 초과해서는 안 됩니다.

클린룸에 맞춤형 사양이 필요하신가요?

실내 환경 조건, 목표 온도 및 습도, 풍량 요구사항과 열부하를 알려주세요. LNEYA가 적합한 표준 모델을 선정하거나 맞춤형 정밀 공조 시스템을 설계해 드립니다.

LNEYA 정밀 공조기는 자체 개발한 동적 캐스케이드 PID 알고리즘을 적용하여 급기와 환기의 온도 차이 변화를 예측합니다. 2단계 PID 연산을 통해 부하 변동에 앞서 압축기 주파수와 전자 팽창 밸브의 개도를 조절합니다. 이를 통해 제어 지연을 줄이고 열부하가 지속적으로 변하는 환경에서도 설정된 급기 온도를 유지할 수 있습니다.

정밀 공조기 Precision air conditioner(images 3)
정밀 공조기 Precision air conditioner(images 4)

LNEYA 정밀 공조기는 클린룸용 팬, 청정 장비 케이스 및 전용 제조 공정을 적용하여 입자 발생을 최소화하고 장비 자체에서 발생할 수 있는 2차 오염을 방지합니다. 더욱 엄격한 공기 청정도가 요구되는 클린룸에는 공기 처리 시스템에 필터를 추가하여 처리된 공기가 제어 공간으로 유입되기 전에 공기 중 입자와 미생물을 제거할 수 있습니다.

LNEYA 정밀 공조기는 외기 및 환기 구성 모두를 지원합니다. 외기 시스템은 환기 공기를 재순환하지 않고 처리된 외기를 실내에 공급하며, 환기 시스템은 실내 공기를 장비 내부로 순환시켜 지속적으로 공기 상태를 조절합니다. 실내 구조, 장비 열부하 및 환기 요구사항에 따라 풍량 구성을 맞춤 설계할 수 있습니다. 유체 시뮬레이션을 통해 급기 및 환기 분포, 공기 흐름 저항과 국부 풍속을 최적화하여 제어 공간 내 온도 편차와 청정도 요구사항에 대응합니다.

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LNEYA 정밀 공조기는 풀 DC 인버터 압축기, EC 팬 및 전자 팽창 밸브를 사용하여 실제 냉각 부하에 맞춰 출력을 조절합니다. 응축열 회수와 압축기 폐열을 재가열에 활용하여 전기 가열에 필요한 에너지를 줄입니다. 연중 운전을 고려해 설계되었으며, 지속적인 온도 및 습도 제어를 지원합니다.

LNEYA는 실내 크기, 장비 열부하, 상주 인원, 자재 취급 방식 및 외기 요구사항을 바탕으로 정밀 공조 시스템을 맞춤 설계합니다. 부하 계산에는 장비, 인원, 조명, 출입문 개폐 및 기타 요인에서 발생하는 열과 수분을 반영합니다. 열부하가 집중되는 구역에는 전용 냉각수 시스템을 적용하여 국부적인 열을 제거하고 실내 환경을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 온도 및 습도 제어 사양도 특정 공정 요구사항에 맞춰 설정할 수 있습니다.

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정밀 공조기 적용 분야

공정 요구사항에 맞춘 시스템 구성

LNEYA 정밀 공조기는 온도 안정성, 습도 제어 및 공기 청정도가 중요한 밀폐 공간과 제어 환경에 적합하도록 설계되었습니다. 반도체 제조, 정밀 실험실, 산업용 테스트, 제약 시설 및 기타 온도에 민감한 환경에 사용됩니다.

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반도체 및 전자

포토리소그래피 장비, 스핀 코팅 장비, 솔더 페이스트 인쇄 장비, PCB 보관

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실험실

전자 현미경, 크로마토그래프, 좌표 측정기
 

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정밀 제조

정밀 공작기계, 태양광 시뮬레이터, 정밀 조립, 좌표 측정기

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제약

제약 실험실, 의료 검사 실험실, 제약 생산 구역

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클린룸

반도체 클린룸, 온습도 제어실
 

관련 가스 냉각 시스템

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글로벌 서비스

30,000곳 이상의 고객사에 서비스 제공.
20개국 이상에 제품 수출.

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인증 및 특허

CE, SGS, ISO 인증
130건 이상의 특허

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애프터서비스

무상 기술 교육 제공.
24시간 연중무휴 기술 지원.

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전문 인력

업계 경력 16년.
전체 직원의 20%가 기술 인력.

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품질 관리

외관 검사, 성능 테스트,
전기 안전 테스트.

자주 묻는 질문 (FAQ)

필요한 냉각 용량은 제어 공간 내부의 전체 열부하에 따라 결정됩니다. 여기에는 공정 장비, 조명, 인원, 벽과 천장을 통해 유입되는 열이 포함됩니다. 외기 유입량과 출입문 개폐로 인한 열부하도 고려해야 합니다. 엔지니어링팀과 상담하시면 실내 환경을 평가하고 필요한 냉각 용량을 계산하여 적합한 정밀 공조 시스템을 추천해 드립니다.

네, 공간 배치, 열부하 분포 및 기류 설계에 따라 가능합니다. 다만 구역마다 온도와 습도 요구사항이 다를 수 있습니다. 각 구역의 환경을 안정적으로 유지하려면 별도의 급기 구역이나 독립 제어 시스템이 필요할 수 있습니다.

일반 정밀 공조기는 더 넓은 제어 공간에 적합하며, 정격 풍량은 1,000~10,000 m³/h입니다. 미니 정밀 공조기는 풍량이 0.7~4.0 m³/min인 컴팩트한 솔루션으로, 국부 온도 제어나 소규모 장비 공간에 적합합니다.

설치 전에 설치 공간, 전원 공급, 냉각수 연결, 배수, 덕트 배치 및 유지보수 공간을 확인해야 합니다. 급기 덕트에는 단열 처리가 필요하며, 열 유입과 공기 흐름 저항을 줄이려면 가능한 한 덕트 길이를 짧게 설계해야 합니다.

네, 가습 기능이 탑재된 모델은 건조한 외기 유입이나 기타 운전 조건으로 인한 수분 손실을 보충할 수 있습니다.

LWX 모델의 경우 가습용 물은 전기전도도 75~1,250 µS/cm, 경도 40°f 이하(약 400 ppm, CaCO₃ 기준)여야 하며 유기 화합물이 없어야 합니다. 가습 시스템을 연결하기 전에 수질을 확인해야 합니다.

네, LNEYA 정밀 공조기는 연중 운전을 고려하여 설계되었습니다. 다만 안정적인 연속 운전을 위해서는 주변 온도, 냉각수 조건, 유지보수 일정 및 실제 열부하가 지정된 운전 조건을 충족해야 합니다.

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