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펠티어 칠러

TEC -20℃~90℃

웨이퍼 에칭 공정에 안정적이고 정밀한 온도 제어를 제공합니다.

Peltier Chiller (Image 1)
이슬점 온도

≤30℃


전원 전압

AC208V-DC250V
삼상 전압


CDA 활성화 온도

<30℃



LNEYA 펠티어 칠러는 -20℃에서 90℃까지의 온도 범위를 제공하며 반도체 산업에 특화되어 있습니다.
검증된 펠티어 열전도 원리를 기반으로 하는 펠티어 온도 제어 시스템은 플라즈마 에칭 응용 분야에서 반복 가능한 온도 제어를 제공할 수 있으며, 정전기 척(ESC)의 동적 온도 제어를 통해 모든 유형의 에칭 공정에 적용할 수 있습니다.

펠티어 칠러를 선택하는 이유는 무엇인가요?

1. 고온 제어 정확도
펠티어 칠러의 제어 정확도는 ±0.1℃에 달하여 반도체와 같은 응용 분야에서 요구되는 고정밀 온도 제어 조건을 충족할 수 있습니다.

2. 높은 신뢰성
LNEYA 펠티어 칠러는 펠티어 효과(Peltier Effect)를 이용하여 냉각을 수행합니다. 컴프레서와 같은 기계적 부품이 전혀 없어, 기계적 마모로 인한 고장 위험을 줄여줍니다. 또한 구조가 단순하고 부품 수가 적어 고장 발생 확률이 낮습니다.

3. 저소음
LNEYA 펠티어 칠러는 컴프레서나 팬과 같이 소음을 유발하기 쉬운 부품을 포함하고 있지 않습니다. 작동 과정은 주로 펠티어 효과(Peltier Effect)를 활용하여 열 교환을 수행합니다. 따라서 작동 시 발생하는 소음이 적으며, 그 소음 수준은 기존의 컴프레서 방식 칠러에 비해 현저히 낮습니다.

4. 신속하게 대응
LNEYA 펠티어 칠러는 펠티어 효과를 이용하여 냉각합니다. 시스템이 온도 제어 명령을 수신하면 전류가 펠티어 모듈을 통과하여 압축기가 작동하고 냉매가 순환될 때까지 기다릴 필요 없이 몇 초 만에 냉각 효과를 얻을 수 있습니다.

5. 친환경
LNEYA 펠티어 칠러는 냉각에 냉매가 필요하지 않습니다. 반면, 기존의 칠러는 일반적으로 오존층을 파괴하고 유해 가스와 오염 물질을 발생시키는 프레온과 같은 환경 친화적이지 않은 냉매를 사용합니다.
 
펠티어 칠러의 모든 작동 과정은 환경에 유해한 물질이나 가스를 전혀 배출하지 않으며, 국제 환경 보호 기준을 준수합니다.

Peltier Chiller (Image 2)
항목 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W
온도 범위 -20℃ ~ 90℃ -20℃ ~ 90℃ -20℃ ~ 90℃
냉각 용량 @20℃ 1200W 2450W 4500W
냉각 용량 @10℃ 900W 1925W 3500W
냉각 용량 @0℃ 600W 1400W 2600W
냉각 용량 @-10℃ 350W 875W 1600W
냉각 용량 @-20℃ 80W 350W 700W
가열 용량 >3000W >6000W >12000W
펌프 타입 DC 마그네틱 펌프 DC 마그네틱 펌프 DC 마그네틱 펌프
압력 (bar) ≤4 ≤4 ≤4
유량 15L/min @ 2bar 15L/min @ 2bar 15L/min @ 2bar
작동 유체 Galden HT135 Galden HT135 Galden HT135
냉각수 온도 DI < 20℃ DI < 20℃ DI < 20℃
냉각수 유량 ≤12L/min ≤20L/min ≤32L/min
냉각수 압력 0.5 ~ 0.8bar 0.5 ~ 0.8bar 0.5 ~ 0.8bar
냉각수 유량 조건 2 ~ 3m³/h 2 ~ 3m³/h 2 ~ 3m³/h

작동 원리

Peltier Chiller (Image 3)

1. 척 웨이퍼 캐리어
2. 순환 펌프
3. 컨트롤러
4. 열전 열교환 모듈
5. 전원 모듈
6. 냉각수 유입구
7. 냉각수 배출구

이 현장형 온도 제어 솔루션은 웨이퍼 배치 간 및 챔버 간 공정 균일성을 획기적으로 향상시킵니다.
작동 원리: 챔버의 리플로우 웨이브 본체 온도를 실시간으로 모니터링하여, 공정 중 발생하는 열 부하 변화를 보정할 수 있도록 공급 온도를 동적으로 조절합니다.
*현장형 온도 제어 시스템
*신속한 승온 속도로 챔버 처리량(Throughput) 대폭 향상
*컴프레서가 없는 Point-of-Use 시스템으로 에너지 소비량 약 50% 절감

펠티어 칠러 공장은 믿을 수 있습니다.

저희는 자체 공장을 보유하고 있으며, 온도 제어 분야에서 20년 이상의 경험을 쌓아온 강력한 칠러 공급업체입니다.

Peltier Chiller (Image 13)

글로벌 서비스

3만 개 이상의 고객사에 서비스를 제공하고 있습니다.
20개 이상의 국가로 수출하고 있습니다.

Peltier Chiller (Image 14)

인증 및 특허

CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.

Peltier Chiller (Image 15)

애프터서비스

포괄적인 기술 교육을 제공합니다.
24시간 연중무휴 솔루션을 제공합니다.

Peltier Chiller (Image 16)

전문 팀

2010년에 설립되어 15년의 업계 경험을 보유하고 있습니다.
직원 중 20%는 기술 인력입니다.

Peltier Chiller (Image 17)

품질 관리

외관 검사
성능 테스트
전기 안전 테스트

펠티어 칠러는 빠르고 정확한 온도 제어를 통해 까다로운 공정 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

네. 맞춤 제작 가능합니다. 냉각수로는 탈이온수를 사용하며, 수온은 20℃ 미만입니다.

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