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1채널 칠러

FLTZ -45℃~90℃

FLTZ 단일 채널 냉각기는 최대 ±0.1℃의 정밀한 온도 제어 정확도를 바탕으로 다수의 유체 채널에 대해 독립적이고 정밀한 온도 제어를 손쉽게 구현하며, 반도체 산업 분야에서 널리 활용되고 있습니다.

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Single Channel Chillers (Image 1)

1채널 칠러 개요

1채널 칠러는 단일 장비 또는 단일 냉각 회로를 냉각하기 위해 특별히 설계된 산업용 냉각 장치입니다. 이 장치는 단 하나의 급수구와 배수구로 구성된 단일 순환 루프 구조를 채택하고 있어, 다중 회로 간의 간섭을 방지하고 안정적인 온도를 유지할 수 있습니다.

단일 채널 칠러는 구조가 소형화되어 있어 공간을 적게 차지하며, 실험실과 같이 공간이 제한적인 환경에서도 설치 및 배치가 용이합니다. 또한 다중 채널 칠러와 비교했을 때 비용이 저렴하고 조작이 간편하다는 장점이 있습니다.

Single Channel Chillers (Image 2)

1채널 칠러의 특징

단일 루프 회로
높은 온도 제어 정밀도
높은 신뢰성
빠른 응답 속도
고급 PID 제어 알고리즘 적용
다중 보호 기능 탑재
다국어 전환을 지원합니다.
고화질 LCD 디스플레이 탑재

fltz series

-45°C

최저

90°C

최고

±0.1℃

온도 제어 정밀도

카탈로그 또는 가격 정보는 LNEYA 영업 엔지니어에게 문의해 주십시오.

FLTZ 5℃~90℃
FLTZ -25℃~90℃
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ -80℃~90℃
FLTZ -100℃~90℃
FLTZ 15℃~25℃

모델(Model)	FLTZ-002 / FLTZ-002W	FLTZ-003 / FLTZ-003W	FLTZ-004 / FLTZ-004W	FLTZ-006 / FLTZ-006W	FLTZ-008 / FLTZ-008W	FLTZ-010 / FLTZ-010W	FLTZ-015 / FLTZ-015W
온도 범위	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃	5℃ ~ 90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
냉각 용량 @10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
내부 순환 유체 용량	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
팽창 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R410A / R448A	R410A / R448A	R410A / R448A	R410A / R448A	R410A / R448A	R410A / R448A	R410A / R448A
냉각 매체	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)	실리콘 오일, 불소계 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 사용 시 온도는 10℃ 이상으로 제어 필요)
냉각수 유량 @20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
외형 치수 (cm)	95×38×106	95×38×106	95×38×106	98×43×140	98×43×140	108×60×150	108×60×150

모델(Model)	FLTZ-202 / FLTZ-202W	FLTZ-203 / FLTZ-203W	FLTZ-204 / FLTZ-204W	FLTZ-206 / FLTZ-206W	FLTZ-208 / FLTZ-208W	FLTZ-210 / FLTZ-210W	FLTZ-215 / FLTZ-215W
온도 범위	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃	-25℃ ~ 90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
최대 유량 (Flow MAX)	10～25L/min	10～25L/min	10～25L/min	15～45L/min	15～45L/min	25～75L/min	25～75L/min
냉각 용량 @-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
내부 순환 유체 용량	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
팽창 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A
냉각 매체	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등
냉각수 유량 @20℃	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
외형 치수 (cm)	95×38×106	95×38×106	95×38×106	98×43×140	98×43×140	108×60×150	108×60×150

모델(Model)	FLTZ-402 / FLTZ-402W	FLTZ-403 / FLTZ-403W	FLTZ-404 / FLTZ-404W	FLTZ-406 / FLTZ-406W	FLTZ-408 / FLTZ-408W	FLTZ-410 / FLTZ-410W	FLTZ-415 / FLTZ-415W
온도 범위	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃	-45℃ ~ 90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
최대 유량 (Flow MAX)	10～25L/min · 최대 5bar	10～25L/min · 최대 5bar	10～25L/min · 최대 5bar	15～45L/min · 최대 5bar	15～45L/min · 최대 5bar	25～75L/min · 최대 5bar	25～75L/min · 최대 5bar
가열 방식	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지	압축기 열을 사용하여 응축기 결빙을 방지
냉각 용량 @-35℃	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
내부 순환 유체 용량	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
팽창 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
냉매	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A	R404A / R448A
냉각 매체	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등	실리콘 오일, 불소계 유체, 글리콜 수용액 등
냉각수 유량 @20℃	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
외형 치수 (cm)	95×38×106	95×38×106	95×38×106	98×43×140	98×43×140	108×50×150	108×50×150

모델(Model)	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
온도 범위	-80℃ ~ +90℃	-80℃ ~ +90℃	-80℃ ~ +90℃	-80℃ ~ +90℃	-80℃ ~ +90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
최대 유량 (Flow MAX)	7～25L/min · 5bar	7～25L/min · 5bar	12～45L/min · 6bar	12～45L/min · 6bar	12～45L/min · 6bar
냉각 용량 @-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
가열 용량	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
내부 순환 유체 용량	4L	5L	6L	8L	10L
팽창 탱크 용량	10L	10L	15L	15L	20L
냉매	불소계 유체	불소계 유체	불소계 유체	불소계 유체	불소계 유체
냉각수 유량 @20℃	1.8m³/h	2.5m³/h	3m³/h	5m³/h	6m³/h
차단기 용량 (Circuit Breakers)	25A	25A	32A	40A	50A

모델(Model)	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
온도 범위	-100℃ ~ +90℃	-100℃ ~ +90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)	±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
유량 제어 (Flow Control)	7～25L/min	12～45L/min
냉각 용량 @-90℃	1.5kW	3kW
가열 용량	3.5kW	5.5kW
내부 순환 유체 용량	5L	8L
팽창 탱크 용량	10L	15L
열전도 매체	불소계 액체	불소계 액체
냉각수 조건 @20℃	50L/min · 2bar~7bar	100L/min · 2bar~7bar

모델(Model)	FLTZ-001S	FLTZ-002S / FLTZ-002WS	FLTZ-003S / FLTZ-003WS	FLTZ-004S / FLTZ-004WS	FLTZ-006S / FLTZ-006WS	FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
온도 범위	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃	15℃ ~ 25℃
온도 제어 정밀도	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)	±0.005℃ (장비 출구 기준 온도 제어 정밀도)
유량 (Flow Rate)	7L/min · 3bar	15L/min · 4bar	15L/min · 4bar	30L/min · 4bar	75L/min · 4bar	75L/min · 4bar	75L/min · 4bar
가열 방식	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지	압축기 가열 기술을 사용하여 응축기 결빙 방지
냉각 용량 @20℃	3kW	7kW	10.5kW	14kW	21kW	28kW	35kW
액체 저장 용량	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
냉매	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A	R1234fa (ODP=0, GWP=4) / R448A
2차 냉매 (냉각수)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)	정제수 (Purified Water)

1채널 칠러(Chiller)는 주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서의 정밀 온도 제어를 위해 사용됩니다. 당사는 신속한 응답성과 높은 제어 정밀도를 구현하기 위해 다중 알고리즘(PID, Feedforward PID, 모델 프리 자가 구축 트리 알고리즘)을 활용합니다.
부하가 걸린 상태에서도 시스템은 탁월한 온도 제어 정밀도를 제공하며, -100°C에서 +90°C 사이의 온도를 유연하게 전환하면서도 뛰어난 온도 준수 성능을 유지합니다. 또한, 진보된 저온 냉각 기술을 통해 -100°C에서 -80°C에 이르는 초저온 제어가 가능합니다.

Single Channel Chillers (Image 3)

FLTZ 5℃~90℃
공정용 냉각기

냉각 용량 6kW~40kW
냉각수 유량 1.5m³/h~9m³/h
온도 정밀도 ±0.05℃

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Single Channel Chillers (Image 4)

FLTZ -25℃～90℃
열 냉각기

냉각 용량 2kW~15kW
냉각수 유량 1.2m³/h~10.2m³/h
온도 정밀도 ±0.05℃

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Single Channel Chillers (Image 5)

FLTZ -45℃～90℃
저온 냉각기

냉각 용량 1kW~8kW
냉각수 유량 1.5m³/h~8m³/h
온도 정밀도 ±0.05℃

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Single Channel Chillers (Image 6)

FLTZ -80℃～+90℃
순환식 냉각기

냉각 용량 0.6kW ~ 3kW
냉각수 유량 1.8m³/h ~ 6m³/h
온도 정밀도 ±0.05℃

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Single Channel Chillers (Image 7)

FLTZ -100℃～+90℃
순환 냉각기

냉각 용량 1.5kW ~ 3kW
냉각수 유량 50L/min ~ 100L/min (2bar ~ 7bar)
온도 정밀도 ±0.05℃

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1채널 칠러 응용 분야

Single Channel Chillers (Image 8)

에이징 테스트 장비용

매칭되는 열 건조 시스템은 냉각 및 가열 온도를 제공하여 웨이퍼 칩의 테스트 효율성과 품질을 향상시키며, 온도 정확도 오차가 작습니다.

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Single Channel Chillers (Image 9)

칩 테스트 장비용

해당 열 냉각기는 시험 장비와 연동되어 ±0.05℃의 정밀한 온도 제어 기능을 제공함으로써, 연구소의 칩 시험 효율성을 향상시킵니다.

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Single Channel Chillers (Image 10)

반도체 팹(Fab)용

공정용 칠러는 반도체 제조 공정(Fab)에서 사용되며, 고정밀 냉각 및 가열 온도 제어 기능을 통해 웨이퍼 제조 수율을 향상시키고 불량률을 낮춰줍니다.

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왜 LNEYA®를 선택해야 할까요?

반도체 산업은 온도 제어 정밀도에 대해 매우 엄격한 요구 사항을 두고 있습니다. 다수의 공정 단계가 온도 변화에 극도로 민감하기 때문입니다. 제품의 성능과 품질은 고정밀 반도체 칠러에 달려 있습니다. LNEYA는 반도체 산업을 위한 전문적인 열 관리 솔루션을 제공합니다.

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작업장 구역（㎡）

연간 생산량단위

130+

60+

80+

Single Channel Chillers (Image 11)

매우 넓은 온도 범위, 액체 매체를 교체할 필요 없음.

Single Channel Chillers (Image 12)

효율적인 생산 안정성 및 재현성 결과

Single Channel Chillers (Image 13)

고온 냉각 기술: 300℃에서 컴프레서를 즉시 가동하여 냉각합니다.

Single Channel Chillers (Image 14)

완전 밀폐형 시스템으로, 열전도성 유체의 수명을 연장합니다.

Single Channel Chillers (Image 15)

판형 열교환기 및 파이프라인 히터를 활용하여 냉각 및 가열 속도를 향상시킵니다.

Single Channel Chillers (Image 16)

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반도체 칠러의 표준 제품 카탈로그 및 샘플북을 수령하거나 칠러를 맞춤 제작하시려면 담당자에게 문의해 주십시오.

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FAQ

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염려하지 마십시오. 저희는 체계적인 절차를 갖추고 있으며, 전문 기술진이 고객님께 적절한 질문을 드려 가장 알맞은 냉각기(Chiller) 구성을 결정하실 수 있도록 선정에 필요한 제안을 제공해 드릴 것입니다.

물론입니다! 저희 공장은 중국 우시에 위치해 있습니다. 현재 25,000㎡ 규모의 공장을 운영 중이며, 66,000㎡ 규모의 신규 공장 또한 건설 중에 있습니다. 언제든지 방문을 환영합니다.

당사는 국내 ISO 인증, CE 인증, SGS 인증을 비롯하여 시장에서 요구하는 모든 인증을 획득하였습니다. 또한 자체적인 기술 특허를 보유하고 있습니다.

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물론입니다. WhatsApp으로 저희를 추가하시거나 이메일을 보내주시면 제품 브로셔를 보내드리겠습니다. 또는 sales@lneya.com으로 직접 이메일을 보내주셔도 됩니다.

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