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듀얼 타입 칠러

FLTZ -45℃~90℃

FLTZ 듀얼 타입 칠러는 최대 ±0.1℃의 정밀한 온도 제어 정확도로 다중 유체 채널에 대한 독립적이고 정밀한 온도 제어를 손쉽게 구현하며, 반도체 산업 분야에서 널리 활용되고 있습니다.

Dual Channel Chillers (Image 1)

더블타입 칠러 개요

FLTZ 이중형 칠러는 기본적으로 동일하거나 서로 다른 사양의 두 개의 칠러 채널이 하나의 하우징에 결합된 형태로, 각 유체 채널 시스템의 온도를 호스트를 통해 개별적으로 제어할 수 있습니다.
 
따라서 각 채널은 독립적으로 작동할 수 있으며 다른 채널의 설정 조건에 전혀 영향을 받지 않습니다. 한 채널에 장애가 발생하여 작동이 중단되더라도 다른 채널이 50%의 이중성을 제공하여 냉각 작업을 중단하지 않습니다. 현재 FLTZ 이중 타입 칠러는 반도체와 같은 산업 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
 
칠러 제조 업계의 선두주자인 LNEYA는 정밀 온도 제어(±0.1℃)에 주력하고 있습니다. 2010년부터 LNEYA는 Corning(미국), 중국공정물리학원, 중국과학원, CSPC 제약 등 다양한 산업 분야의 여러 기업에 신뢰할 수 있는 칠러를 공급해 왔습니다.
 
더블타입 칠러 영업 담당자에게 연락하여 칠러 표준 제품 브로셔를 받거나, 귀사에 맞는 공정용 칠러를 맞춤 제작하십시오.

Dual Channel Chillers (Image 2)

더블타입 타일러의 특징

  • 온도 조절 정확도: ±0.1℃
  • 팽창 밸브: 전자 팽창 밸브
  • 펌프: 무실(Sealless) 가변 주파수 마그네틱 구동 펌프
  • 순환 시스템: 폐회로 시스템
  • 가열: 40℃ 이내의 압축기 온풍 가열 방식을 사용하십시오.
  • 케이스: 냉연 강판 (RAL7035 분체 도장)
  • 제어 시스템: PLC 프로그래머블 제어기
  • 조작 인터페이스: 컬러 터치스크린
  • 열교환기: 마이크로채널 열교환기(공랭식 냉각기), 판형 열교환기(수랭식 냉각기)
모델(Model) FLTZ-203W-2T
배관 채널 (Pipeline) 채널 1 / 채널 2
온도 범위 -20℃ ~ +90℃ / -20℃ ~ +90℃
온도 제어 정밀도 ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
냉각 용량 4kW @ -10℃ / 4kW @ -10℃
가열 용량 2kW / 2kW
열전달 매체 유량 20L/min · 0.5MPa / 20L/min · 0.5MPa
열전달 매체 연결 규격 ZG3/4 / ZG3/4
열교환 인터페이스 ZG3/4 / ZG3/4
주변 온도 10 ~ 35℃ / 10 ~ 35℃
주변 습도 30 ~ 70% / 30 ~ 70%
냉각수 온도 15 ~ 20℃ / 15 ~ 20℃
냉각수 유량 20L/min / 20L/min
중량 400kg
외형 치수 (cm) 50×90×160
모델(Model) FLTZ-406W / ETCU-015W
배관 채널 (Pipeline) 채널 1 / 채널 2
온도 범위 -45℃ ~ +40℃ / +10℃ ~ +80℃
온도 제어 정밀도 ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
냉각/가열 성능 11kW @ -20℃ / 5kW @ -40℃ | 13kW @ +10℃
열전달 매체 유량 2kW / 6kW
열전달 매체 연결 규격 17L/min · 0.7MPa / 17L/min · 0.7MPa
열교환 인터페이스 ZG3/4 / ZG3/4
주변 온도 10 ~ 35℃ / 10 ~ 35℃
주변 습도 30 ~ 70% / 30 ~ 70%
냉각수 온도 15 ~ 20℃ / 15 ~ 20℃
냉각수 유량 40L/min / 20L/min
중량 550kg
외형 치수 (cm) 60×100×185
모델(Model) FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템
온도 범위 -20℃ ~ 90℃ -30℃ ~ 90℃ -45℃ ~ 90℃
온도 제어 정밀도 ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능) ±0.1℃ (±0.01℃ 맞춤형 온도 제어 가능)
열전달 매체 유량 15 ~ 45 L/min · 최대 6 bar 15 ~ 45 L/min · 최대 6 bar 15 ~ 45 L/min · 최대 6 bar
가열 용량 2.5 kW 2.5 kW 2.5 kW
냉각 용량 3 kW @ -15℃ 3 kW @ -15℃ 5 kW @ -15℃
  3 kW @ -15℃ 3 kW @ -15℃ 5 kW @ -15℃
  2.5 kW @ -35℃ 2.5 kW @ -35℃ 2.5 kW @ -35℃
내부 순환 유체 용량 5 L / 5 L 8 L / 8 L 8 L / 8 L
냉각수 인터페이스 50 L/min @ 20℃ 600 L/min @ 20℃ 50 L/min @ 20℃

싱글타입 칠러의 장점

Dual Channel Chillers (Image 3)

독립 온도 제어

FLTZ 듀얼 칠러의 각 채널은 독립적인 온도 제어가 가능합니다. 용도에 따른 필요에 맞춰 서로 다른 온도 범위, 냉각 및 가열 용량, 열전달 매체 유량을 설정할 수 있습니다.

정밀하고 안정적인 온도 제어

다양한 안전 장치를 탑재하였습니다. 이상이 감지되면 자동으로 작동을 중단하고 경보음을 울립니다. 고객님의 안전과 장비의 안전을 최우선으로 생각합니다.

중앙 통제

FLTZ 듀얼 타입 칠러는 하나의 호스트에서 듀얼 채널을 관리할 수 있도록 지원하여 운영 효율성을 향상시키고 문제 해결 및 유지 관리 프로세스를 간소화합니다.

소형 구조

모듈식 설계를 적용하여 두 시스템을 하나의 하우징에 통합함으로써, 공정용 냉각기(Process Chiller)를 더욱 소형화하고 필요한 설치 공간을 절감합니다.

스로틀링 장치

이 산업용 냉각기의 교축 장치는 전자 팽창 밸브로서, 온도에 따라 냉매 유량을 지능적으로 조절하여 정밀한 온도 제어 및 에너지 효율 최적화를 실현하고, 에너지를 절감하며 압축기의 수명을 연장합니다.

싱글타입 칠러의 응용

FLTZ 듀얼 타입 칠러는 탁월한 온도 제어 기술을 바탕으로 반도체 산업의 수많은 핵심 공정 단계에서 폭넓게 활용되고 있습니다. 웨이퍼 제조부터 칩 패키징 및 테스트에 이르기까지, 당사는 고정밀 및 고안정성 열 관리 요구 사항을 충족하는 신뢰할 수 있는 온도 제어 솔루션을 제공해 드립니다.

  • 포토리소그래피
    포토리소그래피 공정 중 노광 시스템과 광학 부품에는 정밀한 온도 제어가 매우 중요합니다. 안정적인 장비 온도만이 패턴의 정확도를 보장할 수 있습니다.
  • 에칭
    플라즈마 에칭에서 온도 제어는 에칭 균일성에 직접적인 영향을 미칩니다. 챔버와 전극의 온도를 안정적으로 제어하면 에칭 효과를 향상시킬 수 있습니다.
  • CVD/PVD 증착
    박막 증착 공정에서 박막의 품질을 향상시키기 위해서는 챔버와 기판의 온도를 정밀하게 제어해야 합니다.
  • 습식 청소
    정밀한 온도 제어를 통해 습식 세척 중 포토레지스트 잔류물, 금속 오염 물질 및 미립자를 제거할 수 있습니다.
  • 칩 패키징
    포장 과정에서 용접 및 포장재의 온도는 포장 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.

왜 싱글타입 칠러를 선택해야 하나요?

기존 냉각 장치에 비해 더블타입 칠러는 비용 절감, 공간 절약, 효율성 향상 측면에서 상당한 이점을 가지고 있습니다.
 
기존의 냉각 장치가 여러 장비의 다양한 온도 제어 요구 사항을 충족하려면 다수의 1채널 칠러를 구매해야 하는데, 이는 조달 비용을 증가시키고 더 많은 공간을 차지하게 됩니다. 반면, 듀얼 타입 칠러는 여러 장비의 온도를 동시에 제어할 수 있어 장비 대수와 설치 공간을 효과적으로 절감해 줍니다.
 
효율성 향상 측면에서, 기존 냉각 장치는 여러 개의 장치가 독립적으로 작동하고 통합 관리가 부족하여 에너지 낭비가 발생하기 쉽습니다. 듀얼 채널 칠러는 통합 제어 시스템을 통해 두 채널을 통합 및 최적화하여 보다 합리적인 에너지 분배를 보장합니다.

귀하의 공정에 맞는 맞춤형 솔루션이 필요하십니까?

왜 LNEYA를 선택합니까?

LNEYA는 고정밀 온도 제어 기술에 주력하며, 전 세계 사용자들에게 경쟁력 있는 열 관리 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사는 선도적인 기술력, 탁월한 산업용 칠러 품질, 그리고 완벽한 서비스를 바탕으로 전 세계 사용자들의 신뢰를 얻었습니다.

chiller manufacturer
  • 신속한 대응
    LNEYA는 유럽, 싱가포르, 말레이시아, 일본, 한국, 카타르, 호주, 미국 등지에 칠러 대리점과 서비스 팀을 보유하고 있어 전 세계 사용자에게 24시간 신속한 대응 서비스를 제공합니다.
  • 15년 이상의 냉각기 설계 및 생산 경력
    2010년 설립 이래, LNEYA는 광범위 온도 대역의 냉각 및 가열 온도 제어 과제를 해결하는 데 전념해 왔습니다. 또한 반도체, 제약·화학, 신에너지, 항공우주 등 다양한 산업 분야에서의 냉각기 응용 범위를 지속적으로 확장하며 풍부한 산업 경험을 축적해 왔습니다.
  • 정밀 온도 제어
    LNEYA 칠러는 초광범위 온도 범위(-150℃ ~ +350℃)를 지원하며, 온도 제어 정확도는 ±0.02℃에 달하여 대부분의 고정밀 실험, 생산 및 연구의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
  • 지속적인 혁신
    LNEYA는 90개 이상의 기술 특허를 보유하고 있으며, 기술 인력은 회사 전체 직원의 20%를 차지합니다. 지속적인 연구 개발 투자를 통해 고온/저온 일체형 기계, 동적 온도 제어 시스템, 저온 냉동고 등 다양한 분야의 제품을 개발해 왔습니다.
  • 칩 패키징
    패키징 과정에서 용접 및 포장재의 온도는 패키징 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.

FAQs

듀얼 타입 칠러는 두 개의 독립적인 냉각 회로를 갖춘 산업용 냉각기입니다. 이는 두 개의 개별 냉각 시스템이 하나의 장치로 통합된 형태로 이해할 수 있습니다. 각 채널은 고유의 온도, 유량 및 보호 로직을 설정할 수 있어, 두 개의 장치나 공정에 동시에 안정적인 냉각수를 공급할 수 있습니다.

가장 큰 차이점은 개별 제어가 가능한지 여부입니다. 단일 채널 칠러는 하나의 냉각 회로만을 갖추고 있어, 연결된 모든 장비가 동일한 온도와 유량을 공유하게 됩니다. 따라서 서로 다른 부품들이 각기 다른 열 부하 및 온도 요구 조건을 가질 경우, 이를 적절히 충족시키기가 어렵습니다. 반면 듀얼 채널 칠러는 서로 다른 장비에 대해 각기 다른 운전 파라미터를 설정할 수 있도록 해줍니다. 또한 한쪽 채널에 이상이 발생하더라도 나머지 채널은 정상적으로 작동을 지속할 수 있어, 레이저 가공, 의료 장비, 반도체 분야의 응용에 있어 매우 중요한 이점을 제공합니다.

정확히는 아닙니다. 듀얼 타입 칠러는 물리적으로 독립적인 두 개의 냉각 회로를 강조합니다. 각 채널에는 자체 펌프, 센서 및 제어 로직이 있어 신뢰성이 높습니다. 듀얼 온도 구역 칠러는 동일한 회로 내에서만 다른 온도 설정을 구현할 수 있으며, 채널들이 주요 부품을 공유할 수도 있습니다. 주 시스템에 오류가 발생하면 두 온도 구역 모두 영향을 받습니다. 장비에 높은 안정성과 안전성이 요구되는 경우, 특히 연속 운전 시에는 진정한 듀얼 채널 칠러가 더 적합합니다.

네, 이것이 바로 듀얼 채널 칠러의 일반적인 적용 사례입니다. 적용 분야의 요구 사항에 따라 각 채널별로 온도 범위, 냉각 용량, 펌프 출력, 냉각수 유량을 다르게 설정할 수 있습니다. 이러한 맞춤형 설정을 통해 과도한 용량 설계로 인한 에너지 낭비나 예산 손실 없이 높은 부하 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

네, 이것이 바로 핵심 장점 중 하나입니다. 작동 시 한 채널은 많은 양의 열을 빠르게 제거하는 데 사용되고, 다른 채널은 고정밀 온도 안정화에 집중합니다. 이 시스템은 PID 제어, 가변 주파수 조절 등의 방식을 사용하여 각 채널이 적절한 조건에서 작동하도록 유지합니다.

네, 그렇습니다. 듀얼 타입 칠러의 각 채널은 완전히 독립적이며, 각각 전용 온도 센서를 갖추고 있습니다. 제어 패널을 통해 귀하의 요구 사항에 맞춰 각 채널의 온도를 개별적으로 설정하실 수 있습니다. 온도를 다르게 설정할 수 있을 뿐만 아니라, 각 채널의 압력과 유량까지 조절하여 귀하의 공정에 가장 적합한 운전 파라미터를 선택하실 수 있습니다.

당사의 듀얼 타입 칠러는 -45°C에서 +90°C에 이르는 온도 제어 범위를 제공합니다. 특정 공정 요구 사항이 있으실 경우, 더욱 폭넓은 온도 범위를 지원하거나 맞춤형으로 제작해 드릴 수 있습니다. 제어 정밀도는 일반적으로 ±0.05°C 이내로서, 온도 변동에 민감한 산업 현장의 요구 사항을 충족하기에 충분합니다.

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