LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd
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모든 직냉식 칠러 모델
KDS -75℃~200℃
열 프로브
냉각 용량 -40℃@600W
온도 정확도 ±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
극저온 칠러
냉각 용량 0.4kW~11kW
온도 정확도 ±1℃
MD -75℃～225℃
온도 제어 척（히팅/쿨링）
가열 및 냉각 -60°C → +25°C: 2분, +25°C → -60°C: 6분
온도 정확도 ±0.5℃
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-75℃～225℃
최저
최고
온도 제어 정확도
| 온도 범위 | -70℃~200℃ (다양한 온도 범위 맞춤 제작 가능) |
| 온도 균일도 | 土0.5℃ |
| 가열 속도 | -55℃~+25℃：12분 -40℃~+25℃：10 분 +25℃~+150℃：20 분 +25℃~+200℃：28 분 +25℃~+300℃：40 분 |
| 냉각 속도 | +150℃~+25℃：25 분 +200℃~+25℃：30 분 +300℃~+25℃：40 분 +25℃~0℃：15 분 +25℃~-40℃：35 분 +25℃~-55℃：65 분 |
| 냉각 방식 | 직냉식 시스템 / 액체 냉각 시스템 / 공냉식 시스템 |
| 웨이퍼 흡착 방식 | 진공 흡착 |
| 척 크기 | φ330*58mm |
| 전원 220V 50Hz | 200~230V AC 50/60Hz 최대 16A |
모든 직냉식 칠러 모델
KDS -75℃~200℃
냉각 용량 -40℃@600W
온도 정확도 ±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
냉각 용량 0.4kW~11kW
온도 정확도 ±1℃
MD -75℃～225℃
가열 및 냉각 -60°C → +25°C: 2분, +25°C → -60°C: 6분
온도 정확도 ±0.5℃
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