LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체
글로벌 서비스
30,000명 이상의 고객에게 서비스를 제공했습니다.
20개국 이상에 수출되었습니다.
인증 특허
CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.
판매 후 서비스
포괄적인 기술 교육을 제공합니다.
연중무휴 솔루션으로.
전문 팀
2010년에 설립되어 15년의 업계 경력을 보유하고 있습니다.
20%의 직원이 기술자입니다.
품질 관리
육안 검사.
성능 테스트.
전기 안전 테스트.
열 척
또는 진공 척
-75℃～225℃
8인치 및 12인치 진공 척과 비표준 맞춤형 사각 냉각판을 제공하여 -70℃~+200℃의 온도 범위를 지원하며, 그 외 다양한 온도 범위, 내장 다중 온도 센서, 다중 구역 온도 제어, 정밀한 FID 조정 및 온도 제어, 직접 냉각, 수냉 및 공냉을 지원하는 사용자 정의도 가능합니다.
다양한 온도 범위를 사용자 지정할 수 있습니다.
-75°C
최저
225°C
최고
±0.5℃
온도 제어 정확도
| 온도 범위 | -70℃~200℃ (다양한 온도 범위에서 사용자 지정 가능) |
| 온도 균일성 | 土0.5℃ |
| 난방 속도 | -55℃~+25℃: 12분 -40℃~+25℃：10분 +25℃~+150℃：20분 +25℃~+200℃: 28분 +25℃~+300℃: 40분 |
| 냉각 속도 | +150℃~+25℃：25분 +200℃~+25℃：30분 +300℃~+25℃：40분 +25℃~0℃：15분 +25℃~-40℃: 35분 +25℃~-55℃：65분 |
| 냉각 방법 | 직접 냉각 시스템/액체 냉각 시스템/공기 냉각 시스템 |
| 웨이퍼 흡착 유형 | 진공 흡착 |
| 척 크기 | φ330*58mm |
| 전원 공급 장치 220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 최대 16A |
온도 제어 방법
내장형 다중 온도 센서, 다중 구역 온도 제어, 정밀한 FII 온도 제어
내장형 다중 온도 센서, 다중 구역 온도 제어, 정밀한 FII 온도 제어
웨이퍼 캐리어
니켈 도금(금/비전도성), 척과의 유연한 연결, 교체가 용이, 캐리어 평탄도 3μm≤10μm
니켈 도금(금/비전도성), 척과의 유연한 연결, 교체가 용이, 캐리어 평탄도 3μm≤10μm
커뮤니케이션
모드버스 RTu 프로토콜 RS485 인터페이스, CAN 통신 버스 옵션, 이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜
모드버스 RTu 프로토콜 RS485 인터페이스, CAN 통신 버스 옵션, 이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜
LNEYA는 절대 사용자를 실망시키지 않습니다！
진공 척의 특징
MD의 열 테스트 분야에서 가장 큰 혁신은 반도체 웨이퍼의 성능 테스트, 모델링, 공정 개발, 설계 결함 또는 IC 고장 분석에 주로 사용되는 일련의 열 제어 척입니다. 빠른 온도 변화를 실현하고 온도를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 시스템 자체에 자체 냉장고가 있어 액체 질소, 이산화탄소 등의 소비를 피할 수 있으며, 각 시스템에는 척과 냉온 제어 장치가 포함되어 있습니다.
LNEYA는 절대 사용자를 실망시키지 않습니다！
실시간 온도 모니터링
온도 제어 척을 사용한 ZLTZ 온도 제어 시스템 데모:
실시간 온도 모니터링
실시간 냉각 속도 모니터링
실시간 압력 모니터링
기타 모델 직접 냉각식 냉각기
KSD -75℃~200℃
열 프로브
난방 냉각 속도 최대 50℃/분
온도 정확도 ±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃ ~ -110℃
초저온 냉각기
냉각 용량 0.4kW~11kW
온도 정확도 ±1℃
MD -75℃~225℃
진공/열 척
난방 및 냉각 -60°C ~ +25°C: 2분 & +25°C ~ -60°C: 6분
온도 정확도 ±0.5℃
신뢰할 수 있는 이동식 냉각기 공장
당사는 자체 공장과 온도 제어 분야에서 20년 이상의 경험을 보유한 매우 강력한 냉각기 공급업체입니다.테말 척 전문가에게 문의하기
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