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음압 칠러

ZLFQ-80 25℃/35℃

온도 정확도 ±0.1℃

음압 환경에서의 냉각 및 온도 제어 기능으로 다양한 종류의 보드 냉각에 적합합니다.

Negative Pressure Semiconductor Chiller (Image 1)
전체 치수

1300mm(L)*700mm(W)
*1850mm(H)


전원 공급 장치

AC220V/50HZ,
8A(max)


통신 프로토콜

RS485 시리얼 포트 MODBUS
RTU 프로토콜 / 이더넷 인터페이스 TCP/IP 프로토콜



누출 위험을 방지하기 위해 음압 발생기를 통해 열 전달 매체(물/오일) 순환을 구동하며, 다양한 종류의 보드 냉각에 적합합니다.

ZLFQ SERIES

25℃/30°C

공급 및 반환 액체 온도

80KW

정격 열교환 용량

±0.1°C

온도 조종 정확도


모델 ZLFQ-80
정격 열교환 용량 80KW

1차 측

(중간 난이도)

작업 매체 순수(Pure water), 불소화 액체, 에틸렌 글리콜 수용액 등
정격 유량 300L/MIN
액체 저장 용량 120L
공급 및 환수 액체 온도 25/35℃
온도 제어 정밀도 ±0.1℃
진공 펌프 공기 배기 용량 130m3/h
부압 수두 70KPA
내부 순환 펌프 구성 1+1 이중화
인터페이스 크기 ZG1-1/4

2차 측

(냉각 측)

냉각 매체 PCW
냉각 유량 4m3/h
여과 정밀도 50um
인터페이스 크기 ZG1
제어 시스템 PLC 제어기, 피드포워드 제어 + 지연 보상 PID 알고리즘
액체 공급 누설률 음압 순환 무누설 시스템
안전 보호 자가 진단 기능, 장비 과부하 보호, 액위 저하 보호 등을 갖추고 있습니다.
기타 기능 자동 누출 감지, 자동 액체 배출, 자동 액체 보충 등의 기능

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중국 반도체 칠러 제조업체

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글로벌 서비스

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인증 및 특허

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