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네거티브/저압 반도체 냉각기

ZLFQ-80 25℃/35℃

음압 환경에서의 냉각 및 온도 제어로 다양한 유형의 보드 냉각에 적합합니다.

전체 치수

1300mm(L)*700mm(W)
*1850mm(H)


전원 공급 장치

AC220V/50HZ,
8A(최대)


통신 프로토콜

RS485 직렬 포트 MODBUS RTU 프로토콜/이더넷 인터페이스 TCP/IP Protoco
l



원칙:

음압 발생기를 통해 열 전달 매체(물/오일) 순환을 구동하여 누출 위험을 방지하고 다양한 유형의 기판을 냉각하는 데 적합합니다.

ZLFQ 시리즈

25℃/30°C

공급 및 반환 액체 온도

80KW

정격 열교환 용량

±0.1°C

온도 제어 정확도


모델 ZLFQ-80

정격 열 교환

용량

80KW

기본 측면

(중간면)

작업 매체 순수한 물, 불소화 액체, 에틸렌글리콜 수용액 등
정격 유량 300L/분
액체 저장 용량 120L
공급 및 반환 액체 온도 25/35℃
온도 제어 정확도 ±0.1℃
진공 펌프 공기 추출 용량 130m3/h
음압 헤드 70KPA
내부 순환 펌프 구성 1+1 중복성
인터페이스 크기 ZG1-1/4

보조 측면

(냉각 측면)

냉각 매체 PCW
냉각 유량 4m3/h
필터링 정확도 50um
인터페이스 크기 ZG1
제어 시스템 PLC 컨트롤러, 피드포워드 제어 + 지연 보상 PID 알고리즘
액체 공급 누수율 음압 순환 누출 방지 시스템
안전 보호 자가 진단 기능, 장비 과부하 보호, 낮은 액체 레벨 보호 등을 갖추고 있습니다.
기타 기능 자동 누출 감지, 자동 액체 배출, 자동 액체 보충 등의 기능을 제공합니다.

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