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저온 에칭에는 어떤 종류의 냉각기가 필요합니까?

이 요구 사항에 해당하는 쿨러 유형에는 주로 다음이 포함됩니다:

멀티 채널 냉각기: 여러 개의 독립적인 온도 제어 회로가 있는 냉각기는 여러 부품의 온도를 정확하게 제어할 수 있어 전체 시스템에서 균일하고 안정적인 온도를 보장합니다. 이는 여러 영역에서 서로 다른 온도를 유지해야 하는 복잡한 에칭 장비에 특히 중요합니다.

저온 냉각기: 이 유형의 쿨러는 극저온을 생성하고 유지하도록 설계되어 -70℃와 같은 저온 에칭 공정 요구 사항에 적합한 주변 온도에서 빙점보다 훨씬 낮은 온도까지 냉각 용량을 제공합니다.

폐쇄 루프 냉장 시스템: 폐쇄 루프 시스템은 온도를 보다 효과적으로 제어하고 에너지 소비를 줄일 수 있어 장기간 안정적인 저온 작동이 필요한 에칭 공정에 적합하며 외부 환경에 대한 영향을 줄일 수 있습니다.

반도체 전용 냉각기: 이러한 냉각기는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작되며 고정밀 온도 제어, 빠른 응답, 저진동, 저소음 등의 특징을 가지고 있습니다. 일부는 부식성 환경에 대응하기 위해 특수 소재 열교환기로 설계되기도 합니다.

휴대용 저온 냉각기: 대형 냉각기만큼 생산 라인에서 널리 사용되지는 않지만, 휴대용 저온 냉각기는 유연하고 편리한 장점으로 인해 특정 지역 저온 제어 또는 휴대용 애플리케이션 시나리오에서 채택될 수도 있습니다.

냉각기 솔루션 맞춤화