LNEYA 산업용 냉각기 제조업체 공급 업체-.
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
애플리케이션
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
제품 매개변수
FLTZ -20℃～+90℃
| 모델 | FLTZ-203W-2T | |
| 파이프라인 | channel 1 | channel 2 |
| 온도 범위 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 냉각 용량 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 난방 용량 | 2kW | 2kW |
| 열 전도성 매체 유량 | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 20L/min | 20L/min |
| 회로 차단기 | 30A | |
| 무게 | 400kg | |
| 치수 cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| 모델 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 파이프라인 | channel 1 | channel 2 |
| 온도 범위 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 냉각 용량 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| 난방 용량 | 2kW | 6kW |
| 열 전도성 매체 유량 | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 40L/min | 20L/min |
| 회로 차단기 | 80A | |
| 무게 | 550kg | |
| 치수 cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| 모델 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 파이프라인 | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| 온도 범위 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 냉각 용량 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 난방 용량 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 열 전도성 매체 유량 | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 회로 차단기 | 100A | ||
| 무게 | 600kg | ||
| 치수 cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| 모델 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 파이프라인 | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| 온도 범위 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 냉각 용량 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 난방 용량 | 2kW | 6kW | 펌프 열 손실 |
| 열 전도성 매체 유량 | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 주변 온도 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 주변 습도 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 냉각수 온도 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 회로 차단기 | 75A | ||
| 무게 | 600kg | ||
| 치수 cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| 모델 | FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템 | FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템 | |||
| 온도 범위 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 열 전도성 매체 유량 | 최대 15~45L/min 6bar | |||||
| 난방 용량 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 냉각 용량 | 15℃에서 3kW | 15℃에서 3kW | 15℃에서 5kW | 15℃에서 5kW | 2.5kW(-35℃ 기준) | 2.5kW(-35℃ 기준) |
| 내부 순환 체액 용량 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 확장 탱크 용량 | 15L | 25L | 25L | |||
| 열 전도성 매체 | 불소화 액체, 부동액, 열 전도성 실리콘 오일 등 | |||||
| 냉매 | R404A/R448 | |||||
| 열 전도성 매체 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 인터페이스 | ZG3/4 | |||||
| 냉각수 인터페이스 | 20℃에서 50L/min | 20℃에서 600L/min | 20℃에서 50L/min | |||
| 전원 | 3상 220V/3상 400V/3상 460V | |||||
Product Advantages
- 효율적인 생산 안정성 및 반복성 결과;
- 판형 열교환기와 파이프라인 히터를 사용하여 냉각 및 난방 속도를 개선합니다;
- 매우 넓은 온도 범위로 액체 매체를 교체할 필요가 없습니다;
- 완전 밀폐형 시스템으로 열 전도성 액체의 수명을 연장합니다;
- 마그네틱 드라이브 펌프를 채택하여 샤프트 씰 누수 문제가 없습니다;
- 고온 냉각 기술, 압축기를 직접 시동하여 300℃에서 냉각합니다.
가변 주파수 펌프는 순환 유압 및 유량을 조절할 수 있습니다.
client output signal
Communication function
애플리케이션
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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