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FLTZ -80℃~90℃
FLTZ -80℃~90℃ 시리즈 순환식 수냉 냉각기는 저온 냉동 응용 분야에서 탁월한 장점을 가지고 있습니다. 이 수냉식 냉각기의 온도 범위는 -80℃~90℃이며, 온도 제어 정밀도는 최대 ±0.05℃로 높은 재현성을 제공합니다.
순환식 수냉 냉각기 시스템은 완전 밀폐형 순환 구조로, 저온 환경에서 공기 중의 수분을 흡수하지 않으며 고온 조건에서도 열전달 매체가 증발하거나 오일 미스트가 발생하지 않습니다.
LNEYA는 15년간 저온 냉각기에 집중해 왔으며, -60℃ 이하 냉각은 당사의 핵심 강점 영역입니다. 필요에 따라 -150℃까지도 설계 가능하여 다양한 응용 요구를 충족할 수 있습니다.
넓은 온도 범위
저온 캐스케이드 냉동 시리즈 제품인 FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 -80℃에서 90℃까지 넓은 온도 범위를 제공하여 손쉽게 냉각할 수 있습니다.
높은 온도 제어 정확도
특히 반도체 산업과 같이 많은 공정에서 정밀한 온도 제어는 성공과 실패를 좌우하는 핵심 요소입니다. FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 ±0.05℃의 매우 높은 온도 제어 정확도를 자랑하여 온도 변화로 인한 제어 불능 상황을 방지합니다.
빠른 냉각
냉각 효율은 공정 품질에도 영향을 미칩니다. FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 캐스케이드 알고리즘과 모델 기반이 아닌 자체 구축 트리 알고리즘을 결합하여 원격 목표물의 온도를 정밀하게 제어함으로써 빠른 냉각 효과를 구현합니다.
공정 유체
일반적인 칠러는 열 전달 매체로 실리콘 오일, 에틸렌 글리콜 수용액, 에탄올, 탈이온수 등을 사용하는 반면, FLTZ -80℃~90℃ 순환수 칠러는 불소계 액체를 사용합니다.이는 불소계 액체가 증발 속도가 빠르고 불연성이며, 냉각 효과가 우수하고 안전성이 높기 때문이며, 반도체 공정 냉각에 주로 사용됩니다.
팽창 밸브
많은 칠러가 여전히 열팽창 밸브를 사용하지만, FLTZ -80℃~90℃ 순환수 칠러는 전자식 팽창 밸브를 사용합니다. 이는 더욱 정확하고 온도 변화에 따라 적시에 조절할 수 있습니다.
FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 탁월한 냉각 성능으로 반도체 제조의 프런트엔드 및 백엔드 공정에 널리 사용됩니다.
이온 주입
이온 주입은 반도체 제조에서 재료의 전기적 특성을 조절하는 중요한 공정입니다. 이 공정은 이온 주입 깊이 및 분포 정확도를 보장하기 위해 엄격한 온도 제어가 필요합니다.FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 안정적인 온도 환경을 제공하여 이온 주입 정확도를 향상시킵니다.
웨이퍼 온도 제어
웨이퍼는 리소그래피 및 에칭 공정 동안 특정 온도 범위 내에서 유지되어야 합니다. FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 안정적인 저온 또는 고온 환경을 제공하여 공정에 영향을 미치는 온도 변동을 방지합니다.
열 사이클 테스트
반도체 부품은 실제 사용 환경에서 극심한 온도 변화에 노출되므로 열 사이클 테스트를 통해 신뢰성을 검증해야 합니다. FLTZ -80℃~90℃ 순환식 냉각기는 -80℃에서 90℃까지의 온도 범위를 제공하여 실제 작업 환경의 온도 변동을 모사하고 반도체 부품의 내열성 및 안정성을 테스트할 수 있습니다.
| 모델 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 온도 범위 | -80℃～+90℃ | -80℃～+90℃ | -80℃～+90℃ | -80℃～+90℃ | -80℃～+90℃ |
| 온도 제어 정확도 | ±0.05℃（정상 상태 출구 온도） | ±0.05℃（정상 상태 출구 온도） | ±0.05℃（정상 상태 출구 온도） | ±0.05℃（정상 상태 출구 온도） | ±0.05℃（정상 상태 출구 온도） |
| 유량 제어 | 7～25L/min 5bar max | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | 12～45L/min 6bar max | 12～45L/min 6bar max |
| -70℃ 냉각 능력 | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 가열 능력 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 내부 순환 유체 용량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 팽창 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 열전달 매체 | 불소계 액체 | 불소계 액체 | 불소계 액체 | 불소계 액체 | 불소계 액체 |
| 연결 규격 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 냉각수 연결 규격 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 20℃ 냉각수 요구량 | 1.8m³/h | 2.5m³/h | 3m³/h | 5m³/h | 6m³/h |
| 차단기 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 외형 치수 (cm) | 550×700×1750 | 650×850×1850 | 700×850×1850 | 700×850×1850 | 800×1200×1850 |
| 공정 온도 제어 | 원격 목표 온도 제어 가능, 자체 개발 모델 프리 제어, 트리 알고리즘 및 캐스케이드 알고리즘을 결합하여 구현 가능 | 동일 | 동일 | 동일 | 동일 |
공랭식 칠러는 공기를 통해 냉매를 냉각합니다. 수냉탑이 필요하지 않지만, 주변 환경 온도가 비교적 높아야 합니다. 주변 온도가 너무 높으면 냉각 효율이 떨어지며, 특히 무더운 여름철에는 -60℃ 이하로 냉각하기가 어렵습니다.
수랭식 칠러는 이러한 문제를 해결합니다. 수냉탑과 워터 펌프를 장착하여 냉각수를 순환시켜 효율을 높이고 설치 공간을 절약할 수 있습니다.
FLTZ -80℃~90℃ 순환식 수랭식 칠러는 -80℃까지 냉각할 수 있기 때문에 고온 환경에서도 사용 가능하도록 수랭식 응축기를 사용합니다. 이와 관련하여 궁금한 사항이 있으시면 칠러 전문가에게 무료로 문의해 주십시오.
3만 개 이상의 고객사에 서비스를 제공하고 있습니다.
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LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd
