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공정용 냉각기

LENYA 고정밀 냉각기는 ±0.05℃의 제어 정밀도를 보장합니다.

더 높은 온도 제어 정밀도, 더 넓은 온도 제어 범위, 그리고 더 빠른 냉각 속도를 제공합니다.

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기

FLTZ -25℃~90℃는 완전 밀폐형 시스템을 갖춘 소형 일체형 저온 공정용 냉각기입니다. 저온 환경에서는 공기 중 수분 흡수를 방지하고, 고온 환경에서는 열매체의 휘발이나 오일 미스트 발생을 방지합니다. 또한 시스템은 열매체를 순환 루프로 자동 보충할 수 있습니다.
 
신뢰할 수 있는 산업용 냉각기 공급업체로서 LNEYA는 높은 온도 제어 정밀도를 갖춘 냉각기를 제공합니다. FLTZ -25℃~90℃는 넓은 온도 범위와 최대 ±0.05℃의 정밀 제어를 지원하며, 빠른 냉각 성능으로 다양한 공정 요구를 충족시키고 안정적이고 신뢰성 높은 운전을 보장합니다.

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기 파라미터

FLTZ SERIES234681015
002W003W004W006W008W010W015W
온도 범위5℃~90℃
온도 제어 정확도±0.05℃(정상 상태 출구 온도)
냉각 용량(10℃ 기준)6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW
냉매 종류R410A
냉각수 유량(20℃ 기준)1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
내부 순환 유체량4L5L6L8L10L12L20L
팽창 탱크 용량10L10L15L15L20L25L35L
냉매R410AR410AR410AR410AR410AR410AR410A
연결부 크기ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
냉각수 연결부 크기ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
냉각 매체실리콘 오일, 불소화액, 폴리올 수용액, 증류수 등 (증류수의 온도는 10℃ 이상으로 제어해야 함)
공정 온도 제어원격 목표 온도는 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 결합하여 자체 생성한 모델을 통해 제어할 수 있습니다.

특징FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기의

온도 제어 정밀도

측정 대상 온도, 온도 제어 시스템의 입구 및 출구 온도를 포함한 3점 샘플링을 사용하며, 모델 프리 자가 구축 알고리즘과 일반 안티래그 캐스케이드 알고리즘을 결합합니다. 이를 통해 제어 지연 없이 컨트롤러가 제어 동작을 예측할 수 있습니다.

온도 범위

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기의 온도 제어 범위는 -25℃에서 90℃까지이며, 대부분의 공정 요구 사항을 충족합니다. 공정 진행 중 다른 냉각기로 교체할 필요가 없어 생산 효율을 향상시킵니다.

Process Chillers (Image 7)

통신 기능

공정용 냉각기의 통신 프로토콜에는 RS485 인터페이스 기반 Modbus RTU 프로토콜과 이더넷 인터페이스 기반 TCP/IP 프로토콜이 포함되어 있으며, 이를 통해 고객의 설비와 통신하거나 시스템 구축이 가능합니다.

가변 주파수 에너지 절감

이 냉각기는 가변 주파수 펌프를 장착하고 있습니다. 운전 패널에서 순환 유체의 출력 압력과 유량을 설정할 수 있으며, 다양한 배관 조건에서도 가변 주파수 펌프가 설정된 압력과 유량을 자동으로 제어합니다. 별도의 바이패스 배관 조정 없이 펌프 소비 전력을 줄여 에너지 절감 효과를 실현합니다.

컬러 터치 스크린

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기는 LNEYA 맞춤형 컬러 터치 스크린을 채택하고 있으며, 화면에서 유입 및 유출 유체의 온도와 압력, 각 구성 요소의 전류 및 전압, 물탱크 수위 등 다양한 실시간 정보를 표시할 수 있습니다.

압축 가열

온도가 40℃ 이하일 때, FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기는 컴프레서에서 발생하는 열풍을 활용하여 히터 없이 가열할 수 있으며, 이를 통해 에너지를 절감하고 동시에 컴프레서에서 발생한 열을 회수할 수 있습니다.

Process Chillers (Image 8)

누출 없음

FLTZ -25℃~90℃ 산업용 공정 냉각기의 전체 시스템은 완전 밀폐형 순환 시스템으로 설계되어 있으며, 다양한 유명 브랜드의 자력 구동 펌프를 장착하여 누출 위험을 효과적으로 방지합니다.

품질 관리 검사

각 공정용 냉각기는 100% 헬륨 누설 검사와 안전 검사를 거치며, 24시간 연속 운전 테스트를 통해 고객이 수령하는 장비의 안전성과 신뢰성을 보장합니다.

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기 적용 분야

FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기는 반도체 산업에서 프론트엔드 및 백엔드 공정을 지원하는 용도로 널리 사용됩니다.
 
웨이퍼 냉각 및 가열
포토리소그래피 및 식각 공정에서는 웨이퍼가 특정 온도 범위 내에 유지되도록 하는 것이 매우 중요합니다. FLTZ -25℃~90℃ 공정용 냉각기는 안정적인 저온 또는 고온 환경을 제공하여 소재의 안정성을 확보하고 온도 변화가 공정에 미치는 영향을 방지합니다.
 
포토리소그래피 공정의 정밀 온도 제어
포토리소그래피 공정에서 노광 시스템의 온도 제어는 포토레지스트의 경화 및 패턴 전사 품질에 매우 중요합니다. FLTZ -25℃~90℃ 반도체 냉각기는 노광 시스템이 안정적인 온도를 유지하도록 보장합니다.
 
패키징 공정 온도 제어
패키징 공정에서는 온도 변화로 인해 재료의 팽창 및 수축이 발생합니다. FLTZ -25℃~90℃ 산업용 공정 냉각기는 온도를 정밀하게 조절하여 패키징 과정에서 발생할 수 있는 응력, 균열 등의 문제를 방지하고 패키징 품질을 확보합니다.
 
환경 적응성 테스트
일부 반도체 부품은 극한 온도 환경에서 작동합니다. FLTZ -25℃~90℃ 냉각기는 넓은 온도 제어 범위(-25℃~90℃)를 제공하여 다양한 온도 조건에서 부품 성능을 테스트하고 제품의 환경 적응성을 검증합니다.

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LNEYA를 신뢰하실 수 있습니다

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글로벌 서비스

3만 개 이상의 고객사에 서비스를 제공하고 있습니다.
20개 이상의 국가로 수출하고 있습니다.

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인증 및 특허

CE 인증, SGS 인증, ISO 인증을 획득했습니다.

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애프터서비스

포괄적인 기술 교육을 제공합니다.
24시간 연중무휴 솔루션을 제공합니다.

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전문 팀

2010년에 설립되어 15년의 업계 경험을 보유하고 있습니다.
직원 중 20%는 기술 인력입니다.

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품질 관리

외관 검사
성능 테스트
전기 안전 테스트

faq

공정용 냉각기는 산업 또는 실험실 공정에서 발생하는 열을 제거하기 위해 설계된 냉각 시스템입니다. 이 장치는 온도가 제어된 유체를 폐쇄 루프를 통해 순환시키며, 유체가 공정 장비의 열을 흡수한 후 다시 냉각기로 돌아가 열을 제거합니다.
FLTZ 시리즈 공정용 냉각기는 -25℃에서 90℃까지의 넓은 온도 범위에서 안정적인 온도 제어를 유지하여 신뢰성 있는 운전과 정밀한 결과를 보장합니다.

공정용 냉각기는 반도체 제조, 제약, 화학 공정, 레이저 시스템, 테스트 실험실 등 다양한 산업에서 널리 사용됩니다. FLTZ 공정용 냉각기는 특히 웨이퍼 냉각, 포토리소그래피 온도 제어, 패키징, 환경 테스트 등과 같은 반도체 응용 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

LNEYA 공정용 냉각기는 공랭식 또는 수랭식으로 맞춤 제작이 가능합니다.
공랭식 장치는 설치가 간편하며 청정 실험실 환경에 적합합니다.
수랭식 냉각기는 설치 공간을 절약할 수 있으며 공장 환경이나 고온 주변 조건에서 더 적합합니다.

네. LNEYA는 방폭 설계, -150℃~350℃의 특수 온도 범위, 특정 유량 또는 압력 설정, 다양한 인터페이스 규격 등 맞춤형 공정용 냉각기 솔루션을 제공합니다. 각 장치는 고객의 냉각 용량, 설치 공간 및 산업 표준에 맞춰 맞춤 제작이 가능합니다.

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