FLT-100℃~90℃
2606주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
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모델 FLTZ-305W FLTZ-305W/2T 이중 시스템 온도 범위 -30℃~40℃ -30℃~40℃ -30℃~40℃ 온도 제어 정확도 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 유량 제어 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 펌프 압력 6bar m...
세부 정보 보기Model FLT-402 FLT-402W FLT-403 FLT-403W FLT-404 FLT-404W FLT-406 FLT-406W FLT-408 FLT-408W FLT-410 FLT-410W FLT-415 FLT-415W Temp Control -45℃~40℃ Temp control accuracy ±0.1℃ Flow Control 10~25L/min 5bar max 15~45L/m...
세부 정보 보기40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 연속 작동 주로 반도체 생산의 정밀한 온도 제어에 사용됩니다.
세부 정보 보기온도 범위 : + 5 ℃ ~ 90 ℃ ± 0.3 ℃ 냉각 용량 : 5kw ~ 30kw 탱크 용량 : 6L ~ 15L 전력 : 06KW ~ 1.6KW 40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐 설계를 채택하고 기계는 작동합니다 ...
세부 정보 보기40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 연속 작동 반도체 온도 제어 장치 칠러는 주로 ...
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